中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265669 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、大型エレクトロニクスアセンブリで使用されるマスク製造工程の効率化を目的とした全自動フォトレジスト装置です。その高度な設計は、最高品質の洗浄結果を確保するために、スプレー、開発、洗浄システムなどのパターン洗浄技術の配列を利用しています。このシステムは、比類のないクリーニング性能を提供し、1時間あたり最大1,000ウェーハを処理できます。TEL Clean Track ACT 12は、可動式クリーニングアームと固定式アームからなるデュアルアーム設計により、クリーニングプロセスを最適化します。これにより、溶液がウェーハの表面全体に均等に分配され、均一な結果が得られます。このユニットには、パターン精度を最適化し、従来のスプレーヤーの最大3倍の面積をカバーする6ノズル噴霧器が装備されています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、一貫した再現性のある結果を保証するために、加圧チャンバーを含む包括的な開発モジュールを備えています。このモジュールは、溶液の蒸発と駆動を低減し、精密で信頼性の高い開発およびエッチングプロセスを実現します。また、クロス汚染を最小限に抑え、性能を向上させるリンス技術を採用しています。クリーントラックACT 12は、クリーニングアームとウェーハの距離を監視および調整する機能、クリーニングソリューションの組成を制御する機能など、さまざまなユーザーフレンドリーなオプションも提供します。このツールは使いやすさのために設計されており、最小限のトレーニングでオペレータによって迅速にセットアップおよび構成することができます。さらに、メンテナンスの必要性を最小限に抑えるように設計されており、クリーンな空気が頻繁な洗浄や交換を必要とせずにチャンバー全体に循環させるフルサイズファンフィルターモデルを採用しています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、効率的なマスク製造プロセスのために設計された信頼性の高い自動フォトレジスト装置を提供します。その高度な設計は、包括的なパターン化された洗浄技術とユーザーフレンドリーなオプションを組み合わせており、オペレータは洗浄プロセスを迅速かつ正確に制御できます。これにより、最小限のメンテナンスニーズで最高レベルのパフォーマンスを保証します。