中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259917 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、ウェーハやマスク加工用のフォトレジスト加工装置です。このシステムは、優れた性能、信頼性の高い結果、および産業用リソグラフィ作業のためのコンパクトなフットプリントを提供します。このユニットは、優れた画質と解像度でフォトレジストのダイレクトイメージング用の紫外レーザースキャナーを備えています。レーザーは、レジスト灰の残留物やエネルギー損失を最小限に抑えて、フォトレジストに正確な露出パターンを作成します。高度なスキャナ設計はまた、高速処理と簡単な操作を可能にします。機械はまた、繰り返し可能で安定した結果を保証するために自動化されたプロセス制御を備えています。それはレーザーの強度制御、温度および動き制御が装備されていて、パターン化に抵抗し、厚さ制御およびプロセス追跡機能に抵抗します。統合されたツールは、各プロセスを同時に追跡することで、複数の露出プロセスを実行できます。TEL Clean Track ACT 12は、パフォーマンスの向上に加え、環境負荷の改善にも対応しています。この資産は、水と電力の消費を削減するために最適化された設計を使用するだけでなく、少ない部品でメンテナンスを改善しました。また、より静かな操作を特徴としています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、大規模生産から小規模生産まで、精密な制御と性能を必要とするウェーハやマスクの製造作業に最適な選択肢です。このモデルは、小さな設置面積で優れた性能を発揮し、産業用リソグラフィ作業に費用対効果の高いソリューションとなります。