中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259909 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、半導体ウェーハなどの基板に精密なレジストコーティング、露出、開発を必要とする用途向けに設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、タイミングコントローラとタイトな温度制御を内蔵し、コーティング、露出、開発作業を効率的に制御します。このユニットは2つのロボットアームを備えており、短時間で正確なレジストコーティング、開発、洗浄を可能にします。また、基板の化学的酸化を低減し、フィルム特性を向上させます。フォトレジストツールは、ウェーハ上にフォトレジストを正確に適用するスプレーノズルを備えたレジストチャンバーで構成されています。ノズルは、ウェーハに毎秒7滴まで適用することができます。また、ウェハトランスファーユニットも付属しており、ウェハトランスファーユニットを安全かつ正確に取り扱うことができます。このモデルは露出チャンバーも備えています。このチャンバーは、UV短波長AMLS（振幅変調UVレーザー装置）を使用してフォトレジストを露出させます。レーザービームは、ウェーハ表面に直接パターンを書き込むために使用されます。露出が完了すると、フォトレジストはパターンに従って永久に変更されます。自動化された化学処理ユニットも備えています。この機械には、処理中にウェーハの化学洗浄を行う自動ブラシツールが含まれています。液浸ウェットエッチング、酸エッチング、光化学エッチングなどを行うことができるケミカルプロセスチャンバーもアセットに装備されています。これにより、ウェーハの処理に使用される化学薬品を正確に制御することができます。また、モニタリング制御装置を搭載し、露出、洗浄、化学処理などのプロセスを制御しながら、オペレータがチャンバーの温度や動作条件をリアルタイムで監視することができます。また、操作を容易にするためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も提供します。信頼性に優れ、幅広い基板に正確なコーティングとパターニングを実現します。コンシューマーエレクトロニクス、医療技術、自動車半導体製造業など幅広い分野で活躍しています。