中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9252495 を販売中

「TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12」は、半導体ベースのデバイス開発に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な露出とポスト露出プロセスを使用して、集積回路などの回路の正確なパターン化を可能にします。TEL Clean Track ACT 12は、フォトリソグラフィ露光方式で動作する自動ユニットです。この方法では、クリーンルームとさまざまなツールと技術を使用して、シリコンウェーハに複雑なパターンを正確にエッチングします。光近接補正（OPC）やプロセス制御などの競合技術を活用し、精密なプロセス制御を実現しています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高解像度パネルとレーザーダイレクトイメージング（LDI）を使用して小さな構造を作ることができます。ホットプレート、スピンコーター、液体ディスペンサー、TELゼウス露光モジュールを搭載しています。これらの各コンポーネントは、フォトリソグラフィ技術と組み合わせることで、回路の最も正確で正確なパターニングを可能にします。スピンコーターは、フォトレジストをウェーハに均一に分散させるために使用され、ホットプレートはフォトレジストを加熱するために使用されます。真空補助液体ディスペンサーは、一貫性を確保するためにフォトレジストの均一な量を分配するのに役立ちます。東京エレクトロンゼウスモジュールは、レーザーダイレクトイメージングプロセスを可能にし、一度に12枚のウェーハを露出させることができます。真空補助液体ディスペンサーは、Clean Track ACT 12の主要コンポーネントです。この機能は、フォトレジストの高い均一性、精度、プロファイル制御を実現するのに役立ちます。この要素の組み合わせにより、フォトレジストは破片から解放され、よりクリーンな壁と、半導体ベースの部品の生産におけるより良い性能と歩留まりを提供します。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12はユーザーにプロセスを制御する機能を提供します。プロセス制御ソフトウェアツールが内蔵されており、ユーザーはプロセスを監視し、設定を調整して正確なパターンを作成できます。これにより、欠陥率を低減し、プロセス制御を最適化して、より効率的なフォトリソグラフィ開発を実現します。結論として、TEL Clean Track ACT 12は、半導体ベースのデバイスの開発に使用される高度なフォトレジスト資産です。これは、高度な露出と露出後のプロセスと組み合わせてさまざまなツールを使用して、回路の最も正確で正確なパターンを取り除きます。