中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9245699 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、集積回路（IC）ファウンドリ市場向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、マスクアライナーと部分コーター技術を1つのプラットフォームで組み合わせ、IC製造におけるフォトリソグラフィープロセスに費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。マスクアライナー技術は、フォトマスクをウェハに正確に合わせるために使用され、フォトレジストを半導体材料に高精度に露出させます。部分コーター技術によりフォトレジストを選択的にコーティングすることができ、非常に小さな側面寸法のIC機能で効率的なパターニングを可能にします。TEL Clean Track ACT 12は、最適な性能と信頼性を提供する洗練された基板ハンドリングユニットを備えています。直径300mmまでのウェーハをサポートし、毎時600個までの速度でウェーハを露出することができます。このツールはまた、周囲の照明や温度の変動に関係なく、正確で一貫した露出時間を保証する高度な温度制御露光ステージを備えています。「TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12」は、露出機能に加え、粒子の汚染を低減し、チップの歩留まりを向上させる革新的な化学プロセスも備えています。このアセットは、特許取得済みのドライエッチング技術を使用して、フォトレジストをIC製造プロセスに必要な独自のパターンにエッチングします。このドライエッチング技術は、粒子の蓄積を減らすことが証明されており、チップの収率が高くなり、ウェーハが少なくなります。クリーントラックACT 12には、独自の自動パーティクルカウントモデル（APCS）も搭載されています。本装置により、運転中の機械内部の粒子数をモニタリングすることが可能となり、粒子の汚染を低減し、チップの歩留まりを向上させる調整が可能となります。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、信頼性とコスト効率に優れたIC製造ソリューションを提供します。このシステムは、高度なマスクアライナーと部分コーター技術を組み合わせ、フォトレジストの高精度な露出を提供するとともに、革新的な化学プロセスを利用して粒子汚染を低減し、チップ収率を向上させます。洗練された基板処理ユニットと自動パーティクルカウントマシンは、信頼性と結果の品質を確保するのにさらに役立ちます。