中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9244064 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、半導体製造プロセスで使用されるフォトレジスト開発機器です。このシステムは、高精度で最適化された電子部品の製造を支援するように設計されています。反復可能な結果と改善された均一性を持つパターンの作成を可能にする洗練された技術ソリューションです。ACT 12は感光性抵抗材料に照射された光に反応することで機能します。このプロセスはフォトリソグラフィと呼ばれ、レジスト材料の詳細なパターンを作成するために使用されます。その後、レジスト材料が開発され、デバイスのパターンが形成されます。このユニットは、露光レーザーとパーティクルリフティング技術のユニークな組み合わせを使用して、優れた結果を生み出します。ACT 12は、エキシマレーザー（266nm）、クリプトン・フッ化物（248nm）、アルゴン・フッ化物（193nm）の3種類の光源オプションを使用する4つの個別システムで構成されたクラスタ・ユニットを備えています。また、各光源を最適な性能で利用できるように、データ管理用のCPUを備えた専用制御機を備えています。このツールの露出レーザーは、幾何学的な精度と均一性を備えた優れた印刷分解能を実現します。粒子の持ち上がる機能は抵抗材料のゆがんだコーナーが開発の前に剃られることを保障するのを助けます。これは、より良いコーナー解像度とタイトパターンのアライメントを促進します。ACT 12は、クリーントラックシリーズの標準モデルであり、90秒のサイクルタイムで開発プロセスを実行することができます。また、最大5。7cm/秒の処理速度で高いスループットを提供します。この資産は、汚れのない生産のための超きれいなステンレス鋼の真空チャンバーで構築されており、基板を迅速かつ簡単に設置するための取り外し可能で調整可能なステージが装備されています。要するに、TEL Clean Track ACT 12は、精度と信頼性のために設計された最先端のフォトレジスト開発モデルです。高速サイクルタイムと高いスループットで優れた印刷解像度を提供します。この装置は、再現性のある高精度で均一なパターンを生成することができ、汚れのない生産をサポートするために超清浄ステンレス鋼真空室で構成されています。