中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9242356 を販売中
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販売された
ID: 9242356
ウェーハサイズ: 8"
(2) Coater / (4) Developer system, 8"
Dual block system
Wafer flow: Left to right
Block 1:
C/S Block, 12"
Stage / Indexer:
Non-SMIF / Open uni-cassette
CSB / Cassette stage block
Block 2:
P/S Block, 12"
(2) Coat units: 2-1 & 2-2
E-Box
Cup base, 12"
(2) PANASONIC Motor drives
PRA / Process block robotics arm
Pincette, 12"
(4) HCP
(4) LHP
TCP
(2) ADH / Adhesion
SHU
Block 3:
P/S Block, 12"
(4) Developer units: 3-1, 3-2, 3-3 & 3-4
E-Box
Cup base, 12"
Out cup, 12"
(4) YASKAWA Motor drives
(4) H Nozzles 1 & 2
PRA / Process block robotics arm
Pincette, 12"
(4) PHP
(4) LHP
(3) HCP
Block 4:
I/F Block, 12"
WEE Unit
CPL
IF Arm
Chemical supply cabinets: (2) Coater & (4) Developer
Power transformer AC cabinet
Temperature & humidity controller: SHINWA T&H ESA-8
TCU: (2) ACT 12 Frames
Missing parts:
Block 2 (P/S Block):
(2) Spin I/O boards
(2) Spin motors
(2) Out cups
(2) PR Nozzle assy
Air sol V/V
Oven:
(2) E5ZE
Z Motor
Lower drain sheet metal & hardware
Block 3 (P/S Block):
Developer:
(4) Spin I/O boards
(4) Spin motors
Oven:
PHP Flow meter assy box
E5ZE
REX Controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、信頼性の高いリソグラフィと自動化されたプロセスシステムを組み合わせた高品質フォトレジスト装置です。このシステムは、シリコンチップの製造における大量のリソグラフィを容易にするように設計されています。このユニットには、イオンビームマシン、水中冷却ツール、露出チャンバー、およびin situ光学資産が含まれています。イオンビームモデルは、フォトレジストの精密エッチングを担っています。水中冷却装置は、システム内の熱応力と汚染レベルを低減するのに役立ちます。露光チャンバーは、フォトレジスト材料に活発な放射線を放出します。この放射線は、さまざまな波長から選択することができます。in situの光学単位は光強度を制御するために責任があります。この機能は、フォトレジストマシンがチップ設計を正確に再現できるため、重要です。TEL Clean Track ACT 12の機能の起動は段階的に行われます。まず、必要な光の設定を入力し、フォトレジストを放射線に照射します。露光プロセスが完了したら、イオンビームツールが作動します。これはフォトレジスト素材のエッチングに役立ちます。最後に、潜水冷却アセットを有効にして、熱応力と汚染レベルを低減します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12には、アラームやモニタリングモデルも搭載しています。これにより、プロセスの障害を検出するのに役立ち、メンテナンスデータを提供することもできます。この機能により、フォトレジスト機器が効率的に動作し、システムへの潜在的な損傷を防ぐことができます。クリーントラックACT 12は、高効率で信頼性の高いリソグラフィ装置です。高精度なパターン設計が可能で、自動化されたプロセスシステムと容易に組み合わせることができます。この機能は、シリコンチップの製造に特に有益です。イオンビームマシン、水中冷却ツール、露出チャンバー、およびin situ光学アセットの組み合わせにより、フォトレジストが正確にエッチングされ、所望の波長にさらされることが保証されます。警報および監視モデルはさらに装置の効率および信頼性を高めます。
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