中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9239542 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9239542
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
SOG System, 12"
Process block: Single block system
Hard Disk Drive (HDD)
CSB:
Equipment controller
Stage / Indexer: (4) Foup indexers
CRA / Cassette block robotics arm
PRB:
SOD Unit 2-1:
(2) Resist dispense nozzles
Side rinse nozzle (Programmable side rinse EBR)
Coat cup temperature synchronized control system
Photoresist temperature control
Motor flange temperature control
Photo resist drain type: Direct gravity drain type
Cup type: PP for upper cup & inner cup
SOD Unit 2-2:
(2) Resist dispense nozzles
Side rinse nozzle (Programmable side rinse EBR)
Coat cup temperature synchronized control system
Photoresist temperature control
Motor flange temperature control
Photo resist drain type: Direct gravity drain type
Cup type: PP for upper cup & inner cup
PRA / Process Block Robotics Arm
(6) LHP / Low Temperature Hot Plate Stations
(4) CPL / Chilling Plate Process Stations
TRS / TCP: Transition Stage Unit
CWH / Cup Washer Holder Unit
External chemical supply system:
Solvent supply system for (2) SOD units
Solvent chemical type
Canister tank to auto supply system with (2) PCS pump tanks
Tank type: (2) Pump tanks (3 Liters/Tank, Teflon) to cover (2) coat units
TEL OEM TCU / Temperature control unit:
SMC Circulator pumps and thermo controller
Power transformer AC cabinet: 208 VAC, 3-Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、最新の半導体製造メイクにおける生産およびエンジニアリングプロセスアプリケーションの高性能基準を達成するために設計された先進的なフォトレジストツール機器です。このシステムは、ハードウェアとソフトウェアコンポーネントのユニークな組み合わせを備えており、すべてが協力して高効率で正確なフォトレジスト処理ソリューションを提供します。その中核には、ユーザーフレンドリーな操作を保証するように設計された高性能ソフトウェアプラットフォームを含む、多くの最先端のコンポーネントを組み込んだマルチチャンバーユニットがあります。このプラットフォームは、信頼性の高い結果、直感的な制御、および効率を最大化するのに役立つ迅速な処理を保証します。さらに、マシン自体は、さまざまなプロセス要件のニーズを満たすために最大限の汎用性とカスタマイズ性を可能にする多くの機能と機能を提供しています。このツールの中心はマルチチャンバーチャンバー設計にあり、各チャンバーは独立したプロセスをサポートしています。これにより、ユーザーは各操作のためのフォトレジスト処理のプロセスパラメータと制御レベルをカスタマイズすることができます。さらに、マルチメディアアクセラレータチャンバーは、インジェクションポンプの超精密制御を使用して、フォトレジスト材料の一貫した正確で正確な分散を保証します。このアセットは、モデルレベルのプロセスインサイトなど、さまざまなユーザー機能をインテリジェントに統合し、フォトレジスト処理時間の精度と速度を向上させるプラットフォーム上に構築されています。これにより、すべての作業において信頼性の高いプロセスが保証されます。さらに、使いやすいデータ収集機能と完全に統合された統計解析パッケージにより、プロセススループットと生産性を最大化するように設計されています。最後に、TEL Clean Track ACT 12は、材料の誤入力のリスクを大幅に低減し、汚染による損失を最小限に抑えるように設計された堅牢な安全システムを中心に構築されています。これは、すべてのフォトレジスト処理のプロセス完全性と製品品質をユニット全体で保護します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高度なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントをユーザーに提供する高性能なフォトレジスト加工ツールです。この資産は、ユーザーフレンドリーな制御、迅速な処理スループット、直感的なデータ取得および統計分析ツール、ならびに汚染のリスクを低減する堅牢な安全装置を備えたカスタマイズ可能なマルチチャンバーモデルを中心に構築されています。これらのすべての属性は、すべてのフォトレジスト関連プロセスで最高の精度と効率を保証するために協力します。
まだレビューはありません