中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9227624 を販売中
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販売された
ID: 9227624
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
(1) Coater / (2) Developer system, 12"
Left to right
(3) Main controllers
In-line
CSB
IFB
PRB 1
Power box
Chemical box 1
Fire system box 1 and 2
T&H Controller 1
Thermo controller 1
Loading configuration:
(3) FOUP Loaders
Uni-cassette
With system controller
Carrier station:
Type: FOUP
(3) Cassettes
Uni-cassette system
Coaler unit:
(6) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RDS Pump (Millipore)
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath for etch unit
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Degassing system
Programmable side rinse
PR Nozzle (1, 2, 3, 4, 5,6)
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
Thinner supply: CCSS
AMC Suck-back valve
Drain: Direct drain
Developer unit:
H Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse
Developer system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Developer supply: CCSS
Degassing system
Developer temperature control system
Drain: Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Adhesion unit
Chamber (Build-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
HMDS Supply: Local bottle
(5) Low temperature hot plates (LHP)
(4) Chill plates (CPL)
(2) Precision chilling hot plates (PHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
Wafer edge exposure (WEE)
UV Sensor: I-Line
Chemical cabinet:
Solvent
HMDS
DEV Chemical cabinet
SHINWA Series (ESA-8) Temperature and humidity controller
Temperature control unit (TCU)
AC Power box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、ウェハ表面に薄膜パターンを作成し、フォトリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器です。露出工程中のウェーハ表面の汚染を防ぐ専用のクリーントラックを使用し、従来のシステムと比較してプロセス能力を向上させます。このユニットは、より高い解像度のパターンとより良い再現性を実現するように設計されています。真空機械とベーキングプロセスを備えており、フォトレジストの乾燥とパターン精度の向上に積極的に取り組んでいます。このツールには、ウェーハプリクリーニング用の専用クレンジングトラックと露出用のメイントラックが装備されています。プリクリーニングトラックには酸化プロセスが組み込まれており、ウェーハ表面を浄化し、フォトマシン加工のフィルム品質を向上させます。プレクリーニングはまた、空気中の粉塵粒子や他の表面汚染物質によって引き起こされる汚染を排除します。メイントラックは、露光プロセスの高い電力安定性を保証する安定した低電圧電源を提供するように設計されています。メイントラックには高精度の光学アセットが組み込まれており、露光プロセスの精度と安定性を保証します。モデルにユーザーの条件に従ってカスタマイズすることができるさまざまなプログラムされた操作周期があります。また、機器の事故や損傷を防ぐのに役立つ安全機能も組み込まれています。それにユーザーが装置のすべての機能に容易にアクセスすることを可能にする大きいユーザーフレンドリーな表示画面があります。このシステムにはアルゴリズム駆動の最適化ユニットがあり、ユーザーは露光時間とプロセス条件を最適化して所望のパターン精度とプロセス歩留まりを達成することができます。また、露出時に作成された薄膜の均一性を確保し、より良いプロセス能力を提供します。機械はまた改善された処理速度およびよりよいパターン質を提供するために、アセッチング、沈殿および除去装置のような他のシステムと接続することができます。全体として、TEL Clean Track ACT 12は、高い精度と再現性を実現する強力なフォトレジストツールです。これは、正確なパターン結果の達成に合わせて調整された多くの機能を備えており、完成したウェーハの優れた歩留まりを保証します。この資産は、ユーザーが高品質の製品を生産し、廃棄物を削減することを可能にする、信頼性と効率的なパフォーマンスを提供するように設計されています。
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