中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9197300 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、最先端のリソグラフィープロセス向けに設計された画期的なフォトレジストシステムです。Clean Track ACTは、最も極端なリソグラフィ要件に対して重要な洗浄プロセスとソリューションを提供する包括的な統合ユニットです。TELクリーントラックACT 12マシンは、フォトレジストのアクティブ層のためのクリーンな環境を作成する決定論的な輸送を利用しています。これは、フォトレジストが均一にウェーハに堆積することを保証します。これは、リソグラフィープロセスにとって重要です。その高度なエアロック技術は、汚染および後処理効果に対する重要な保護層を提供します。このツールは、複数の洗浄とソフトベークプロセスの統合されたシーケンスにより、リソグラフィに最適な条件を保証します。東京電機クリーントラックACT 12は、粒子を最小限に抑え、接触汚染を低減し、ウェーハ洗浄をなくすキャップウエハ搬送アセットも備えています。このモデルのハイエンド・オートメーションは、効率的で信頼性の高いパフォーマンスを目指して設計されており、スループットを向上させるためのプロセス・ソリューションの途切れない流れを保証します。クリーントラックACT 12は、高度な前処理のための多機能プラットフォームを提供します。EUVとArFの両方のリソグラフィ処理をサポートするように設計されています。統合プラットフォームは、ウェーハサイズと構成の範囲のためのプレベーク機能とクリーニングの両方を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、リソグラフィ用の汎用性の高いプラットフォームです。それは精密を保障するために基質を渡る優秀な均等性を提供します