中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9190227 を販売中
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ID: 9190227
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
(2) Coaters / (4) Developers system, 8"
In-line
Right to left
Loading configuration: 3 Foup type
Main controller: 2nd Controller
Main frame with system controller
CSB
PRB1
PRB2
IFB
Power box
T&H Controller
Chemical box
Thermo controller
(2) Mass flow controllers
Carrier station: 8" Foup type
(3) Cassettes / (25) Slots
Coater unit (2-1, 2-2 Module):
(4) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RRC Pump
PR Suck-back valve: (8) Air operation suck-back valves
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Programmable side rinse
(4) PR Nozzles
(8) Bottles
Thinner supply:
CCSS Supply
Local canister tank function
Photo resist temperature control system
Drain: Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4):
(2) H Nozzles for each unit
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse on each unit
Developer temperature control system
I/F Wafer stage type: NIKON (S204)
Adhesion unit:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor in system
HMDS Supply: Local bottle
(8) Low temperature hot plates (LHP)
WEE Unit (Wafer edge exposure)
Type: DUV (UV254)
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling hot plates (CHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
SHU: (2) Shuttles
Chemical cabinet 1:
Solvent
Developer
HMDS Chemical cabinet
Temperature & humidity controller: Shinwa series (ESA-8)
Temperature control unit(TCU): TEL
AC Power box:
AC200 / 220V
Full-load current: 300A
Power: AC 208V, 3 Phase, 300A (Maximum)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、最新かつ最先端のフォトレジスト機器です。それはクリーンルームの環境の超低い粒子性能のために設計されています。このシステムは、独自のクリーントラックオートクリーン（CTAC）プロセスを含む独自の技術と、メンテナンスを容易にするための高度なトップダウンスキャンツールを組み合わせています。クリーントラックオートクリーン（CTAC）プロセスは、2つのシーケンシャルステージを使用して、最高のパーティクルフリー環境を確保します。まず、2つの独立した活性化ブラシモジュールを使用して、あらゆる表面の輪郭から粒子を取り除きます。これらの剛毛は、部品または機器の形状とサイズに正確に合わせて調整され、すべての汚染物質が効果的に除去されるようにします。第二に、浮遊粒子を表面から抽出するために高い気流ユニットが使用されます。高い気流はまた表面に帯電防止電荷を加え、さらに粒子なしの環境を改善します。マシンはまた、残りの粒子を検出するために独自のスキャン技術を利用しています。このスキャンツールは、16チャンネルセンサアレイを使用して、1ミクロンの粒子を検出します。センサはサイズ、形状、密度などの粒子特性を測定・比較し、粒子数を正確に識別することができます。このスキャンプロセスにより、このツールは業界標準以下の粒子レベルを検出して除去することができます。TEL Clean Track ACT 12アセットは、クリーンルーム環境を一貫して維持するために、高度な温度、湿度、オゾン監視技術を使用しています。温度と湿度センサーは、必要に応じてモデルを調整するために環境を監視します。また、オゾン発生粒子の存在を検出し、それに応じて装置のオゾン生成を調整するためにオゾンセンサーが使用されます。システムはユーザーに完全な制御を提供し、クリーニングプロセスの正確な監視を可能にします。さらに、塵と帯電防止システムの両方が高度な統計解析ツールを提供し、ユーザーは洗浄しきい値を監視し、最適な粒子のない性能を確保することができます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高度なフォトレジストユニットで、クリーンルーム環境で最高レベルの清浄度を実現します。このマシンは、洗浄プロセスを完全に制御しながら、一定の粒子のない性能を可能にするために、高度な技術の組み合わせを利用しています。
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