中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9154831 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、基板上にフォトレジストを開発するための効率的かつ高速なプロセスをユーザーに提供するフォトレジスト機器です。ウェーハ表面に高解像度の画像を作成することができ、時間を短縮して製品の品質を向上させることができます。このユニットは、マスクを通して基板に光を露出させ、真空で安定させることで動作します。これにより、基板は、製造に使用できる負のイメージまたは正のイメージを開発することができます。フォトレジストは表面に保持され、真空は層を安定させます。この機械の最も重要な特徴は、真空がフォトレジストの形状と圧力を安定させる役割を果たすため、レイヤーと基板の間に手動で接触する必要がないことです。光への露出が完了した後、フォトレジストは表面から取り除かれます。その後、液体フォトレジストで満たされたチャンバー内で基板を回転させることによって再開発されます。表面のフォトレジストは基板のスピンによってさらに硬化され、液体は表面から排出されます。このプロセスは、薄く均一な層を形成するため、フォトレジストの性能を向上させます。TEL Clean Track ACT 12は、高精度で高精度な感光部品を製造するための精度と精度を提供します。このツールはまた、高真空レベルのため、基板に優れた清潔性を提供します。このアセットはまた、マスクと基板の間を基板を移動する際の優れたトラック精度を提供し、正確かつ正確な露出を可能にします。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は全体的に、ユーザーに信頼性の高い効率的な感光部品の製造方法を提供します。このモデルは、基板に光を露出させ、真空で層を安定させ、フォトレジストを取り除き、液体フォトレジストで満たされたチャンバー内のスピンを使用して再開発することによって機能します。この装置は、優れた清浄度、精度、精度を提供し、感光部品の最高レベルの品質をユーザーに提供します。