中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106173 を販売中
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ID: 9106173
ウェーハサイズ: 8"
Process Block Robotic Arms, 8"
PRA X-Axis Assy:
CT2985-469941-W2 - X Axis Assy (ACT 12), Common
CT2910-200980-13 - X Base (300)
CT2910-401477-11 - X Side Plate (Qty 2)
CT2910-401979-11 - Bracket, Motor (Qty 3)
CT2910-408714-11 - Sensor Bracket (Qty 3)
CT2910-405673-11 - X3 Plate
CT2910-405674-11 - X3 Plate
CT2910-405672-11 - Guide Block (Qty 3)
CT2910-403428-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-401512-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-405691-11 - Sensor Shutter (Qty 3)
CT2910-405675-12 - X1 Block
CT2910-405676-12 - X1 Block
CT2910-405677-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403433-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403533-12 - X3 Block (Qty 2)
CT2910-307254-11 - X2 Plate
CT2910-307255-11 - X2 Plate
CT2910-402169-11 - X2 Plate
CT2910-402170-11 - Plate
CT2910-400001-13 - WAF Sensor Cover
CT2910-400743-11 - WAF Sensor Bracket
CT2910-403435-11 - C Cover (1)
CT2910-490117-11 - C Cover (2)
CT2910-401535-11 - Nut Plate (Qty 2)
CT2910-401550-11 - Cover Bracket (Qty 4)
CT2910-403488-11 - X Cover (Qty 2)
CT2910-403436-11 - X Cover (Qty 4)
CT2910-303738-11 - X Cover
CT2910-303739-11 - X Cover (Qty 20)
CT2910-303740-11 - X Cover
CT2902-400038-11 - Pulley (3-20) (Qty 3)
CT2902-400061-11 - LM Guide (Qty 6)
CT2910-310059-11 - Bracket (Qty 2)
CT2910-407741-11 - Cable Rail (Qty 3)
CT2910-408715-11 - Stopper Block (Qty 12)
CT2910-410980-11 - Cover, Belt (Qty 3)
CT023-001515-1 - Belt, Timing 1290-3GT-6 (Qty 3)
CT023-001777-1 - Belt, Timing 192-3GT-6 (Qty 3)
CT044-001407-1 - Support, PCB SA6-43 (Qty 4)
CT044-001058-1 - Support, PCB SA6-20 (Qty 8)
CT044-000044-1 - Support, PCB EM-3 (Qty 2)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-401770-11 - 12" X1 Motor Assy
CT2986-401771-11 - 12" X2 Motor Assy
CT2986-401772-11 - 12" X3 Motor Assy
CT2986-401773-11 - 12" X Home Sensor Assy
CT2986-427122-11 - Sensor, 12 Light #01 680 (Assy)
CT2986-427123-11 - Sensor, 12 Detect #01 620 (Assy)
CT2986-401776-11 - 12" WAF Signal Cable
CT2985-442959-W1 - Base (ACT 12) Assy, PRA 8":
CT2910-320885-11 - Plate, Upper
CT2910-321411-11 - Cover, X
CT2910-316994-11 - Frame
CT2910-316995-11 - Plate, Upper
CT2910-316996-11 - Plate, Lower
PRA Z Axis Assy:
CT2985-201532-W3 - 300Z Axis Assy
CT2910-301544-11 - Top Plate
CT2910-100241-12 - Z Main Base
CT2910-100242-12 - Z Main Base
CT2910-100248-12 - Z Side Base
CT2910-100249-12 - Z Side Base
CT2910-100250-13 - Z Side Base
CT2910-100251-12 - Z Side Base
CT2910-301646-12 - Outer Cover (Qty 2)
CT2910-100243-12 - Bottom Base
CT2910-301655-11 - Z Support
CT2910-308116-11 - Z Support
CT2910-401047-11 - Position Pin (Qty 4)
CT2910-401662-11 - Stopper
CT2910-490025-12 - Stopper (Z) (Qty 4)
CT2910-490150-12 - Support Arm
CT2910-301503-12 - Support Arm
CT2910-301522-11 - Support Plate
CT2910-301523-12 - Support Plate
CT2910-400677-11 - Support Bar
CT2910-301524-11 - Guide Block
CT2910-301525-11 - Guide Block
CT2910-301540-12 - Fan Box (Qty 2)
CT2910-401593-11 - Commutation Plate (Qty 2)
CT2910-401590-11 - Belt Block
CT2910-401591-11 - Belt Block
CT2910-313316-11 - Duct Plate
CT2910-313317-11 - Duct Plate
CT2910-406173-11 - Cable Clamp (Qty 2)
CT2910-401594-11 - Belt Clamp (Qty 2)
CT2910-401595-11 - Belt Clamp (Qty 6)
CT2910-401033-11 - Motor Base
CT2910-401034-11 - Block
CT2910-300965-11 - Motor Block
CT2902-400010-11 - Z Motor Pulley
CT2910-300970-11 - Fan Bracket (Qty 4)
CT2910-401299-11 - Cable Clamp (Qty 10)
CT2910-401753-11 - X Board Bracket
CT2910-401592-11 - Sensor Bracket
CT2910-490152-11 - Shtr. Z (Qty 2)
CT2910-301654-11 - Cable Guide (Qty 2)
CT2910-401663-11 - Cable Bracket
CT2910-401687-12 - Flat Rail (5-15)
CT2910-401664-11 - Cover Bracket (Qty 6)
CT2910-401665-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-401668-12 - Cover Support (Qty 4)
CT2910-301657-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-301658-11 - Cover Bracket
CT2910-404714-11 - Position Pin (Qty 2)
CT018-001971-1 - Linear Way LWHS20C2R1420B-LR (Qty 2)
CT023-000961-1 - Belt, Timing 3000-5GT-30 Open
CT023-001873-1 - Belt, Timing 456-3GT-9 (Qty 2)
CT023-001872-1 - Belt PE-100-2 45*3100C (Qty 3)
CT044-001340-1 - Support, PCB FB6-10 (Qty 14)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-402847-11 - 12" X Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401792-11 - 12" X Fan Cable (Qty 4)
CT2981-600409-11 - PRA X Board
CT2986-401737-W2 - 12" PRA Z Axis Assy:
CT2986-401743-11 - 12" Z Motor Assy
CT2986-401832-11 - 12" Brake Signal Cable
CT2986-401744-11 - 12" Z Home Signal Cable
CT2986-401745-11 - 12" Z Fan1 Assy (Qty 6)
CT2986-401746-11 - 12" Z Fan2 Assy (Qty 4)
CT2986-401747-11 - 12" Z Fan Harness1
CT2986-401748-11 - 12" Z Fan Harness2
CT2986-401749-11 - 12" Z Fan Harness3
CT2986-401750-11 - 12" Z Fan Harness4
CT2986-408336-11 - 12" Brake Off Harness
CT2981-600410-11 - PRA Z Board
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
PRA Z Cover Assy:
CT2985-401531-W2 - Z Cover Assy
CT2910-415404-12 - Cover, Z (Qty 3)
CT2910-301668-11 - Z Cover
CT2910-301669-11 - Z Cover (Qty 2)
CT2910-301670-11 - Z Cover
CT2910-301671-11 - Z Cover
CT2910-301672-11 - Z Cover
CT2910-301673-11 - Z Cover
CT2910-301674-12 - Z Cover
CT2910-301675-11 - Z Cover
CT2910-301676-11 - Z Cover
CT2910-301699-11 - Z Cover (Qty 2)
CT026-100972-1 - Grommet C-30-NG-79-A-1
CT2987-459316-W1 - Sensor Assy, Z Axis (ACT 12):
CT2985-489564-W1 - Fixture Assy, Z Axis (ACT12)
CT2986-467717-W1 - Sensor, PRA Belt 12 #01 (Qty 2)
PRA Theta Axis Assy:
CT2985-403791-W1 - 12 Theta Axis Assy
CT2910-301722-11 - Motor Base
CT2910-402634-13 - Theta Stopper
CT2910-402635-11 - Stopper (Qty 2)
CT2910-403661-11 - Stopper Base
CT2910-401712-11 - Sensor Bracket
CT2910-300200-13 - Board Bracket
CT2910-301726-11 - Cover
CT2910-301727-11 - Cover
CT2910-301724-11 - Cover Bracket
CT2910-309253-11 - Cover Bracket
CT2910-301737-11 - Cover Bracket
CT2910-301738-11 - Cover Bracket
CT2910-302033-11 - Support Bracket (Qty 2)
CT2910-400199-11 - Holder Plate
CT022-000903-1 - Bearing 5002DDUU76 LG2L (299880001011
CT2985-403808-W1 - 12 PRA 4C Base Assy:
CT2910-100477-13 - 12 PRA-HP Base (4C)
CT2910-300496-11 - Support Bar
PRA Z, Theta Cable Assy:
CT2987-400810-W2 - 12 Z Cable Assy1
CT2986-401738-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy1
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400811-W2 - 12 Z Cable Assy2:
CT2986-401740-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy2
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400812-W1 - 12 Theta Cable Assy:
CT2986-401742-11 - 12" PRA Theta Axis Cable Assy
CT2985-401570-W2 - Theta Cable Assy
PRA Theta Axis Cable Assy:
CT2986-401739-W1 - 12" PRA Theta Axis Assy
CT2986-402876-14 - 12" Th. Motor Assy
CT2985-401759-11 - 12" Th. Fan Cable1
CT2986-401760-11 - 12" Th. Fan Cable2
CT2986-401761-11 - 12" Th. Fan Cable3
CT2986-401762-11 - 12" Th. Fan Cable4
CT2986-401763-12 - 12" Th. Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401764-11 - 12" Th. Home Signal Cable
CT2986-401765-11 - 12" Brake Off Cable2
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
CT2981-600408-12 - PRA Base Board
PRA Pincette Assy:
CT2985-432270-W1 - Fork (ACT 12), PRA 8"
CT2910-207761-11 - Fork(8"), ACT12
CT2985-40770-W1 WAF Block Assy:
CT2904-390016-11 - 8 Inch Standard Block (299880028811
CT020-002765-1 - Bind Screw M2.6*5 SUS304 (Qty 2)
Missing main controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、最先端のフォトレジスト機器で、機能サイズを最適化しました。フォトレジストフィルムの高感度・安定性を実現する先進のアクティブクランピングテクノロジーを採用しています。TEL Clean Track ACT 12は、欠陥率が極めて低いフォトレジストなどの基板を正確かつ一貫して処理する最適化されたシステムを提供します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12ユニットは、プリプロセスからウェハハンドリング/レジストコーティングまで、フォトレジストプロセス全体を制御します。その最先端の機能には、ウェーハにデザインを正確かつ正確に印刷する独自のレーザーパターニングマシンが含まれています。また、独自のレーザーアライメントツールにより、オリジナルの可変設計を使用して一貫したパフォーマンスを保証します。このアセットには、コーティング後にウェーハをやさしく洗浄するためのポストパターニングICクリーンモジュールも含まれています。このモデルは、パターニングソリューションの乱れやずれを防ぐためにナノ流体トラック装置で設計されているだけでなく、均一でクリーンなエッジを提供する高度な可変エッジビード除去。さらに、クリーントラックACT 12は、ウェーハ上の欠陥を特定し、損傷なく正確に除去するためのインテリジェントなトラッキングシステムを内蔵しています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12には、オートトラッキングレチクルアライメントユニット（ATRS）も内蔵されており、大型ガラスシートでも迅速かつ信頼性の高いパターン精度を提供します。また、レジストの品質を監視し、より深い欠陥を特定する機能も搭載しています。このツールは、生産されるレジストで一貫した優れた性能を確保するために、基板条件を継続的に監視する品質保証プログラムと統合されています。TELクリーントラックACT 12フォトレジスト資産は、人間工学に基づいた利便性を念頭に設計されています。そのデザインは、複雑なアライメント設定を調整する必要なく、ユーザーフレンドリーな操作に適合することができます。自動化されたウェハハンドリングモデルにより、さまざまな入力パターンを使用して小さな欠陥をローカルクリーンアップすることもできます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、競争力のある価格で比類のないパフォーマンスを提供します。比類のない機能を備えたこの装置は、すべての半導体プロセス用途に最適です。高度な半導体デバイスを最高精度で処理することができます。クリーントラックACT 12フォトレジストシステムがインストールされているため、どのビジネスでも、最速で安全で信頼性の高い環境で最高品質の製品を提供できます。
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