中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、基板の正確で正確なパターニングを可能にするフォトレジスト装置です。システムはコンパクトで、簡単かつ簡単な操作を提供します。これは、チャンバー内のクリーンな環境を維持することができます反粒子マシンを搭載し、改良された濾過ユニットが含まれています。基板ホルダーは自動的に調整することができ、ツールはまた、より多くの操作の柔軟性を可能にします。アセットにはマルチゾーン非接触測定モデルがあり、マスクとの正確なアライメントを確保するために基板を正確に測定できます。また、最適な結果を得るために、幅広い用量とエネルギーレベルの高精度用量制御装置が装備されています。このシステムは、幅広い用途に対応するため、あらゆるサイズの基板をパターン化することができます。露光ユニットには、独自のスキャン技術を備えた870nm ArFレーザーイルミネータが搭載されており、所望のパターンに対して安定した均一な光ビームを確保します。このマシンは、最高解像度512x512 dpiの高解像度イメージングツールを備えています。この画像資産は十分に維持されており、すべての画像は非常に正確で鮮明にキャプチャされています。TEL Clean Track ACT 12には、イオンシャワークリーニングやインデックス作成クリーニングなどのクリーニング機能も含まれています。イオンシャワークリーニングは基板をイオンで爆撃しますが、インデックス洗浄は磁気ベースのブラシを使用して領域をきれいにする非接触式の方法です。このモデルには、バックアップポンプ装置もあります。これは、ユニットが必要な環境条件を維持するための二次ポンプシステムです。このマシンには、内蔵のインターロックツールや帯電防止アセットなど、さまざまな安全機能が装備されています。最後に、このモデルでは、ユーザーインターフェイスを介してアクセスできるEthernetまたはRS232ポートを介してリモート監視および制御も可能です。これにより、ユーザーは迅速かつ簡単にパラメータを調整し、問題を迅速にトラブルシューティングすることができます。