中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106026 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、最高レベルのデバイス清浄度と焼成製品イメージを実現するフォトレジスト装置です。半導体ウェーハ、フレキシブルプリント回路、テープキャリア、光学フィルム、写真、ポリイミド、Eビームなど、さまざまなエッチバックグレードを処理することができます。ユニットのACT 12ヘッドは、自動パーティクル除去機として動作するワンステップの前処理ヘッドです。超音波振動、サーマルバースト、ジェットクリーニングなどの複数の技術を搭載し、直線基板と角度基板の両方を処理することができます。このツールは、統合された冷却および加熱技術により、プロセス温度を追跡および制御することもできます。自動化された粒子除去とは別に、アセットは、基板表面全体を均等にカバーし、フォトレジストを均一に適用する多方向スプレーも提供します。これにより、基板上の均一な厚さと反復可能なパターンが保証されます。このモデルには、スパンステンレス製のカセットが装備されており、長期的な使用を保証し、ハイエンドマスクパターンを促進します。TEL Clean Track ACT 12は、高い生産性と低コストのオーナーシップを提供するように設計されています。24列構成で、1時間あたり最大150ウェーハの高スループットを実現できます。また、高精度なセンシングおよび制御システムにより、パターン構造の正確な配置と均一性を確保します。また、処理開始前に各基板を確認できるデジタルカメラシステムを搭載しています。また、TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12ユニットには、自動バーコード配布ツールを備えたトラック/ロード/アンロード機が内蔵されています。また、クリーンルーム環境に適したコンパクトなデザインとなっています。このアセットには、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスでプロセス条件を監視および調整する集中制御ボディが付属しています。また、リモートコントロールと分析のための自己診断および分析モデルが装備されています。