中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9087044 を販売中
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販売された
ID: 9087044
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Dual block coater / developer system, 12"
Track configuration 1:
Coat cup: 1
BARC cup: 1
Top Coat cup: 1
Developer cup: 2
ADH: 1
Track configuration 2:
Resist Reduction: RRC
Dev Nozzle: LD
Resist pump: RDS 4ml
Oven Configuration:
PEB: PHP x3
BCT: PHP x2
COT: PHP x2
Post bake: CHP x3
Track chemicals:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73
Currently installed
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、TEL Limitedの半導体デバイスの加工に使用されるフォトレジスト洗浄装置です。フォトレジスト洗浄システムは、ICチップ表面からフォトレジスト残留物およびシリコーン汚染を効率的かつ効果的に除去するために設計されています。このユニットは、メガソニックユニットに接続された抵抗トラック、抵抗メッキタンク、電子ビーム照射チャンバー、およびコントロールパネルで動作する赤外線CCDカメラで構成されています。メガソニックユニット付きの抵抗トラックは、高周波音波を使用してICチップ表面からフォトレジスト残留物を除去するために使用されます。抵抗メッキタンクは、チップ上に導電層を堆積させるために使用され、電子ビーム照射チャンバーを使用してチップを電子ビームで照射することができ、フォトレジスト残基を完全に除去することができます。赤外線CCDカメラは、クリーニングプロセスが成功したことを確認するために、残りのフォトレジスト残留物を検出するために使用されます。TEL Clean Track ACT 12を使用することで、電子機器で使用されるICチップの効率的かつ費用対効果の高い洗浄が可能になります。また、このマシンを使用することで、フォトレジスト残留物が完全に除去されないことによる問題が軽減され、デバイスの故障につながる可能性があります。さらに、このツールの高品質の電子ビーム照射チャンバーは、ICチップの品質が損なわれないようにします。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、フォトレジスト残留物の除去とシリコーン汚染洗浄の信頼性と費用対効果の高い方法で、電子デバイスの信頼性の高い動作を保証します。使いやすく効率的で、ICチップは最高品質で洗浄されます。これは、ICチップの適切な電気動作を保証し、製品の故障を減らし、顧客とメーカーの両方を保護するのに役立つ信頼できる資産です。
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