中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9037669 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9037669
ウェーハサイズ: 12"
Coater / Developer system, 12" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、半導体デバイスや電子部品の製造など、さまざまな分野で使用される先進的なフォトレジスト機器です。粒子や化学物質の汚染を最小限に抑えながら、高い性能を発揮します。TEL Clean Track ACT 12の中心にあるのは、高度な光源を使用して長波または短波パルスのエネルギーを生成する高度な光学システムです。この光は、指定されたフォトレジストターゲットに正確に導くために、一連のミラーに向けられます。光源はフォトレジストの処理要件を満たすように最適化されています。ターゲット表面全体に均一なエネルギー分布を確保するために、レーザー光ファイババンドルを使用して、ターゲットにエネルギーを集中して輸送します。レーザーエネルギーは、使用されている特定のフォトレジストの適切なレベルに調整されます。光源に加えて、光線方向を正確に制御する高速アクチュエータユニット「TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12」を搭載。このアクチュエータは、ビームの角度を正確に調整し、処理中にフォトレジストが適切に露出するようにすることができます。ACT 12には、高解像度画像の強化や高コントラストイメージングなどの革新的な光学技術も搭載しています。このツールは、最小限のバックグラウンドノイズで最大のコントラストと画像忠実性を提供するように最適化されています。クリーントラックACT 12は、フォトレジスト加工の向上に加えて、粒子や化学物質の汚染リスクの低減にも役立ちます。この目的のために、資産は潜在的な汚染物質を減らし、それらによって引き起こされる損傷を防ぐために強化された精製モデルが装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高度なプロセス制御技術と完全に統合されています。この技術は、フォトレジストが光線に適切にさらされ、プロセスが指定された時間内に行われることを保証するのに役立ちます。TEL Clean Track ACT 12装置は、高品質の半導体デバイスや電子部品を作成するために使用できる強力なフォトレジスト処理システムです。製造工程で使用する場合、精度と精度を提供し、製造中に問題を引き起こす可能性のある化学物質や粒子のリスクを低減するのに役立ちます。
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