中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293823519 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックは、フォトレジストプロセスをサポートする統合機器です。自動クリーニングユニット、自動ポジショニングユニット、モニターユニット、ウェハマッピング付き検査ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。自動クリーニングユニットは、フォトレジスト材料を含むチャンバーを清潔で汚染のないように設計されています。クリーンチャンバー、デュアルチャンバー集塵機、ハイドロサイクロン集塵機で構成されています。デュアルチャンバー集塵機は、チャンバーを通過する空気から塵の粒子を分離し、ハイドロサイクロンダストセパレータに閉じ込められます。クリーンチャンバーは、フォトレジスト材料が処理される場所であり、フォトレジストの品質と性能が最適であることを保証するために常に監視されます。オートポジショニングユニットは、フォトレジスト材料アプリケーションのプロセスを簡単かつ効率的にします。これは、2つの光学スケールと2つの線形スケールで構成されており、必要な露光ポイントを正確に設定するのに役立ちます。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションのフォトレジスト素材の所望の露出を正確に調整することができます。モニターマシンは、ツールの頭脳として機能します。自動クリーニングユニット、自動位置決めユニット、検査ユニットのデータを記録するタッチパネルディスプレイと統合コンピュータで構成されています。このデータは、フォトレジスト材料に最適な露光タイミング、レベル、位置を決定するために分析することができます。ウェハマッピングによる検査ユニットにより、フォトレジスト素材の詳細な目視検査が可能です。高解像度イメージングカメラと強力な照明アセットで構成されています。これにより、フォトレジスト材料の欠陥、粒度、構造均一性などの表面特性を明確かつ詳細に調べることができます。ウェハマッピングは、ストレスや歪みの領域を特定するのにも役立ち、フォトレジスト材料の欠陥を修正するために使用できます。TELクリーントラックは、フォトレジストプロセスをより簡単かつ効率的にする効率的で信頼性の高いモデルです。自動クリーニングユニットと自動位置決めユニットは、フォトレジスト材料を正確かつ正確に適用するのに役立ちますが、モニター装置と検査ユニットは、フォトレジスト材料が最高品質であることを保証するために、詳細な分析と視覚検査を可能にします。