中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293616493 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックACT 12は、高精度のマルチプロセスフォトレジスト装置です。このシステムは高度なソフトウェア制御環境を備えており、高度なフォトレジストプロセスを高精度に適用できます。これは、非常に正確な露光、アライメント、寸法、マスク測定プロセスを保証する独自の光学制御アーキテクチャを使用して行われます。高度な光学制御システムにより、高い精度でアプリケーションプロセスを完了できます。この機能により、厚みの異なるフレキシブル基板上のフォトレジスト工程を高精度で完成させることができます。これにより、より複雑で細かい構造を作成することができます。さらに、このマシンには静的スイッチツールも装備されており、異なる基板タイプを単一のマシンで処理することができます。TEL Clean Track ACT 12は、チャンバー制御機能により信頼性と再現性に優れた設計となっています。この資産は、迅速な回復率とクローズドループ制御を誇り、一貫した結果を保証します。さらに、このモデルは、ダウンタイムを最小限に抑えるためにセルフクリーニングであるため、メンテナンス要件が低く設計されています。また、スピンコーティング、ホットプレート露出、レーザー露出など、さまざまなフォトレジストプロセスを実行できます。また、超音波カップリングシステムは、非常に小さな寸法変化を検出し、正確に測定することができ、精度と精度を向上させることができます。さらに、独自の2軸イメージアライメントユニットにより、画像の正確なアライメントが可能です。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、精密エレクトロニクスや半導体産業など、さまざまな製造用途や産業に適しています。幅広い基板や表面タイプで高精度プロセスを実行できるため、多くのフォトレジスト用途に不可欠なツールとなっています。さらに、プロセスで使用されるエネルギーと化学物質を保存する保護ハウジングによってプロセスの効率が向上します。これにより、エネルギーと材料のコスト削減と、配送効率の向上が可能になります。