中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293592464 を販売中

TEL （TE） TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、デバイス製造用のマイクロエレクトロニクス業界で使用される「フォトレジスト」装置です。フォトレジストとは、特定の光のエネルギーに敏感な化学製剤です。光にさらされると、フォトレジスト内の分子が反応し、その分子状態が変化します。通常、フォトレジストは特定のパターンを作成するためにウェーハに堆積され、これらのパターンを使用して大規模な集積回路を構築することができます。TEL Clean Track ACT 12システムは、洗浄力の向上、生産性の向上、クリーンな結果など、従来のフォトレジストシステムに比べていくつかの利点を提供します。プロセスの終わりに露出後の沈殿物をきれいにする能力は特に有益です。また、高速かつ費用対効果が高く、従来のシステムで必要とされていた10分の1以下で優れた結果をもたらすことができます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12には、半導体ウェーハに真空下でフォトレジストを適用するスピン/スプレーユニットが装備されています。フォトレジストは、フォトレジストで満たされた中空プラスチックカップであるスピン/スプレーカップに配置されています。カップは回転スピンドルの上に置かれ、適切な速度でスピンされて、ウェーハ上のフォトレジストを均等に分配します。このプロセスにより、フォトレジストがウェーハの表面全体に均等に分布し、一貫したパターニング結果が得られます。フォトレジストをウエハに塗布すると、クリーントラックACT 12の光源に所望の時間をかけて露出します。このマシンは、可能な限り最高の露光均一性のために光を照射する高強度の水銀蒸気ランプを備えています。フォトレジストは、ツールの開発者ソリューションの攪拌風呂で開発されます。これにより、フォトレジストの露出していない部分が除去され、ウェーハにパターンが残されます。最後に、アセットには、ウェーハからの残留物を正確に洗浄するために、いくつかの異なる溶媒を分散させるスプレーヘッドのカスケードで構成される高度なクリーニングモジュールが装備されています。この自動洗浄技術は、優れた洗浄結果を提供し、ウェーハのクリーンテープ輝度を達成するために必要な時間と労力を大幅に削減します。要するに、TE TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12フォトレジストモデルは、デバイス製造に最適なソリューションです。優れた洗浄性能、生産性の向上、デバイス製造の次のステップに備えたクリーンなウエハを提供します。自動化された機能と組み合わされた高速で費用対効果の高い操作は、半導体メーカーにとって魅力的な選択肢です。