中古 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #9378266 を販売中

ID: 9378266
Coater Excimer UV-laser.
TEL/TOKYO ELECTRON CL1300は、微細加工やナノ加工に幅広く使用されているフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な環境イメージング露光ツールを使用することで、従来のフォトリソグラフィープロセスを強化し、同等のシステムよりも高速で効率的で高精度なダイレクトパターン転送を実現します。TEL CL1300フォトレジストユニットの特徴は、プロトタイプから小型シリーズまで、ラピッドプロトタイピングに最適です。高精度で1 μ mの複雑なパターンを再現できる高解像度Poliscanスキャナを搭載しています。その最先端のビーム画像制御アルゴリズムは、信号歪みのない均一な露出フィールドと高精度な画像を提供します。また、NKS (Neutron Spectral Weighting)とDWS (Dose Weighted Spectral)の両方の機能にアクセスできるため、特定のニーズに応じて製品ファイルにアクセスできます。東京電子CL1300フォトレジストツールは、半導体クリーンルーム環境での高速かつ信頼性の高いトラック処理も提供します。このアセットのダイナミックトラッキング技術は、生産効率を向上させると同時に、迅速かつ正確な露出時間により、厳しい公差製品の製造における高い再現性を保証します。さらに、ほとんどのフォトレジスト材料とも互換性があり、プロセスから複雑さを取り除きます。TEL ComponentsTM 「Litho Assistan」は、統合された高度な独自ソフトウェアであり、ナノおよびマイクロファブリケーションのアプリケーションにCL1300優れた選択肢となっています。この強力なリソグラフィ指向ソフトウェアは、パターン、円弧、曲線を正確に設計する機能をユーザーに提供するだけでなく、フォトリソグラフィープロセスのすべてのパラメータを制御および調整することもできます。さらに、このソフトウェアを使用すると、ユーザーはデータを保存、管理、カタログ化することができ、プロセスを迅速かつ効率的にします。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON CL1300フォトレジストモデルは、タッチスクリーンコンソール、直感的なメニュー駆動ナビゲーション、包括的な診断機能により、ユーザーに人間工学に基づいた体験を提供するように設計されています。オペレータは再利用可能なレシピのライブラリにアクセスすることもでき、セットアップ時間の短縮と生産プロセスの合理化に役立ちます。全体として、TEL CL1300は画期的なフォトレジスト機器で、ユーザーに効率性、精度の向上、高速プロトタイピング機能を提供し、ナノおよびマイクロファブリケーションのアプリケーションに最適です。
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