中古 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607976 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300は、高精度、低オーバースプレー、最大スループットを実現するフォトレジスト機器です。TEL CL1300には、さまざまな半導体、MEMS、ハイブリッド製造アプリケーションで使用できる多くの機能が含まれています。このシステムは、直径400mmまでの基板に対応できる大面積プロセッサと、最大4インチの基板に対応するための寸法長さを備えています。TOKYO ELECTRON CL1300は、最大5ミクロニクス分解能の基板加工が可能で、幅広い加工技術に最適です。さらに、このフォトレジストユニットは、101リットル以上のチャンバー容積を持ち、単一の設定で大規模かつ複雑な基板を処理することができます。フォトレジストマシンにはいくつかの安全性と制御機能が装備されているため、信頼性と信頼性の高い製造ツールです。CL1300には、タッチスクリーンコントロールパネルを備えたPLC制御資産が含まれており、正確で反復可能なプロセス制御を提供します。それはまた処理の間に基質を保つために動き検出器を含んでいます；オペレータ安全のための帯電防止靴；汚染物質がモデルに入らないようにするための安全障壁。TEL/TOKYO ELECTRON CL1300は、スピンコーティング、空気圧およびジェットスプレーコーティング、蒸発およびレーザーアシストフォトレジストコーティングが可能です。このフォトレジスト装置は、独自のソフトウェアシステムを使用して、製造プロセス中にパラメータを監視および調整し、より効率的で予測可能なフォトレジストパターニングを可能にします。また、TEL CL1300では、フォトレジストパターンの範囲を可能にするマルチゾーン加熱および冷却システムも提供しています。メンテナンスに関しては、フォトレジストの劣化を防ぐために多くの機能を備えて設計されているため、メンテナンスを最小限に抑える必要がCL1300ます。これは異物および汚染物の存在を減らす高度のろ過の単位を含んでいます；フォトマスクが失格および汚染から自由であることを保障する化学活動の走査器；そして熱サイクルを最小にし、フォトレジストの低下を最小にする温度調整機械。要するに、フォトレジストツールは、高精度、低オーバースプレー、最大スループット、およびさまざまな安全および制御機能を提供する、さまざまな製造および加工ニーズに最適なソリューションです。これは、最大5ミクロンの分解能で大きな基板を処理することができ、成功に必要な精度と信頼性を提供するため、任意の実験室や産業用途に最適なソリューションです。