中古 TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300は、半導体、薄膜成膜/エッチング、LED製造、表面実装技術など、さまざまな用途で使用されるフォトレジスト機器です。ハイエンドの光学イメージングステージを搭載し、正確なフォーカスとアライメント制御を可能にします。これは、高度な温度均一性と制御を提供する6ゾーンプラットフォームと結合されています。TEL CL1300は、優れた感度と解像度を提供し、0。1ミクロンまでの機能を検出して処理することができます。高度なUV露出ヘッドを採用し、0。5ミクロン以上のラインエッジ/幅制御が可能です。また、軸外方向や軸外露出など、さまざまな高度な方向露出技術を利用しています。機械は効率的な生産プロセスのために設計されています。フォトレジストのロールストックを3つの異なるソースから同時に供給することができ、各ソースは独自の露出設定を持つことができます。さらに、温度の暴走、化学物質の汚染、停電などのさまざまなアラームにより、迅速で簡単なトラブルシューティングが可能です。TOKYO ELECTRON CL1300もケミカルマネジメントのために構築されています。正確な投与機能と包括的なレシピ管理ツールが含まれており、ユーザーは直感的に毛布レジスト、露出レジスト、および開発後のレジストを管理できます。さらに、圧力、化学濃度、温度など、さまざまなオプションを使用してケミカルタンクを監視できます。最後に、この資産は、統合ローダー、ソーター、トレイ、および高度な光学検査モデル（AOIS）のような自動品質検査ツールなどの幅広いオプションを提供しています。結論として、CL1300は強力で費用対効果の高いフォトレジスト機器であり、さまざまなアプリケーションに幅広い機能と機能を提供します。