中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT （TEACT）フォトレジスト装置は、高精度の半導体ウェーハをパターン化するために設計された最先端の技術です。TEACTシステムは、独自の深紫外線（DUV）光源を使用してフォトレジストコーティングされたウェーハを照射し、パターン処理を正確に制御します。このユニットは、オートメーションコントローラ（ACU）、パターンジェネレータ（PG）、放射エネルギー源（RES）、電源（PS）など、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。ACUはTEACTマシンのコントロールセンターであり、ユーザーはウェーハパターニングプロセスの各側面を制御することができます。ACUはPGとインタフェースし、ウェーハに適用されるパターンを生成および制御します。PGはフォーマットパターンにベクターフォーマットを使用しており、複雑なパターンを正確に適用することができます。RESはTEACTツールで使用されるDUV光源です。この最先端の光源は、193nmから248nmまでの短い波長の放射を生成し、非常に正確なパターニングを可能にします。ソースを自動化することができ、ウェーハ上で完全にパターン化されたレイヤーを大規模に生産することができます。PSはRESに電力を供給し、ウェーハ上のフォトレジスト層に印加されるエネルギー量を制御します。これは、フォトレジストが均一で一貫した量の光にさらされていることを保証するのに役立ちます。TEACTアセットは、ユーザーに最先端の精密パターニング機能を提供します。自動化された制御により、ウェーハ上で完全に構造化されたレイヤーを生産することができ、半導体ウェーハパターニングに最適なソリューションです。モデルの次世代DUV RESはフォトレジスト層の露出を促進しますが、カスタマイズ可能なACU-PGインターフェースにより、パターニングプロセスのあらゆる側面を制御できます。TEL ACT機器では、アプリケーションに関係なく、優れた結果を保証します。