中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9407748 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、Micro Electro Mechanical Systems （MEMS；マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズ）の製造に必要な幅広い要件を満たす最先端のフォトレジスト加工ソリューションです。この装置には、回転プロセスとベルトプロセスの両方が装備されているため、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションに適しています。優れたパフォーマンス、高いスループット、高いレベルのプロセス柔軟性を提供するように設計されています。TEL ACT 8は感光性のレジストパターンとサブミクロンレベル構造の両方を処理することができます。マイクロおよびナノメートル範囲の代表的な寸法を持つ多層MEMSデバイスの大量生産用に特別に設計されています。厚さ18 μ mまでの高精度な表面コーティングにより、幅広い基材の加工を可能にする高性能な表面コーティングステーションを搭載しています。TOKYO ELECTRON ACT 8には、マルチゾーンスピンコーター、デジタルインクジェットプリンタ、ロールツーロールウェハー、2次元マスクアライナー、近距離投射顕微鏡、統合プロセスフィードバックループなど、さまざまな制御技術が搭載されています。これらの技術は、優れたレベルのプロセス精度と信頼性を実現します。また、東京エレクトロンアクト8は、デボンディング、ベーキング、ベーキング/冷却などの後処理活動も可能です。汎用性の高いスピンコーターとウェーハユーザーステーションは、フォトレジスト層やデバイス基板を損傷するリスクなしに優れた結果をもたらします。ACT 8ユニットは非常に柔軟でユーザーフレンドリーです。最大1000個のユーザーレシピを保存できるため、さまざまなプロセスの変更を簡単に実行できます。また、非常に直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えているため、さまざまなフォトレジスト処理手順を簡単に操作できます。さらに、その高度なソフトウェアアーキテクチャは、プロセスパラメータのチューニングの複雑さを低減し、高精度を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8フォトレジスト加工ツールは、高性能、高スループット、低プロセスコストを実現します。MEMSの生産要件に対応する高度なフォトレジスト加工技術をお探しのお客様に最適なソリューションです。