中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926 を販売中
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ID: 9401926
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、研究開発用途に特化した最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、基板内のフォトレジストの存在を検出するためのデュアルセンサー技術を備えています。また、基板内のパターン化プロセスの不規則性を検出するためにも使用でき、研究に最適です。デュアルセンサは、0。1〜7。0ミクロンの超高解像度を備え、様々な研究および生産アプリケーションのパターンをパターン化することができます。TEL ACT 8には、高精度な温度・電圧レギュレータが搭載されています。センサーはまた、基板全体の深さの異なるフォトレジストを検出することができます。東京エレクトロンアクト8には、電気、機械、光学などのさまざまなソフトウェアツールもあります。それはフィルムの沈殿、プラズマエッチングおよび他の多くのプロセスを模倣できます。さらに、このマシンは将来の参照用に異なるプロセスパラメータを格納することができるため、研究者はタスクを簡単に繰り返したり、プロセスを変更したりすることができます。TEL ACT 8は、主な機能に加え、パワーモニター、自動厚みコントローラ、真空チャンバーなど、多数の制御周辺機器を内蔵しています。これらの機能により、このツールは研究開発の専門家によっても高く評価されています。全体として、ACT 8は研究開発アプリケーションを念頭に置いて設計された信頼性の高い正確なフォトレジスト資産です。デュアルセンサ技術により、パターニングプロセスの不規則性を検出し、将来の参照用にプロセスパラメータを保存できます。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、多数の制御周辺機器を内蔵し、重要なデータを保存しながら、さまざまなプロセスのシミュレーションと制御を可能にします。これにより、研究および生産アプリケーションにとって非常に貴重なツールとなります。
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