中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9357239 を販売中
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ID: 9357239
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Coater / Developer system, 8"
Main frame with controller
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
(4) Cassette stages
Pickup cassette
Coater:
(3) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath for etch unit
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liter
PR Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater:
(2) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liters
PR Suck-back valve
Direct drain
Developer:
SH Nozzle
(2) Stream nozzles for DI rinse
(2) Buffer tanks: 3 Liters
Temperature controller
Direct drain
(3) Adhesions:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
(15) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(14) Chill Plates (CPL)
TCP Module
(3) TRS Modules
Wafer Edge Exposure (WEE) module:
Wafer type: Notch, DUV
Notch
DUV
Chemical cabinet 1: Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR and HMDS
(2) TEL OEM Temperature controllers
AC Power box
Interface
Missing parts:
2-1 COT Spin I/O Board
2-4 COT EBR Nozzle tip
2-4 COT EBR Nozzle valve
2-1 Nozzle changer motor
3-2 Shutter cylinder
(2) PRB YASUKAWA Spin motor drivers
2-0 PRA Z-Driver
3-0 PRA Z-Driver
Temperature and humidity controller (For 4 chu)
Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は最先端のフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィープロセスで業界をリードする精度と精度を提供するように設計されています。フォトリソグラフィは、多くの電子部品の製造において重要なステップです。TEL ACT 8システムは、高精度マスクアライナーを使用して、パターンをフォトレジスト素材に正確に転送します。パターンはスピードと精度の高い基材に転送されます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、強力なステッピングモーターと独自の制御ユニットを備えています。これにより、マスクと基板の迅速かつ正確なアライメントが可能になります。マスクアライナーの解像度は25ナノメートルで、高精度と再現性を提供します。機械はまたマスクのイメージ処理が可能で、パターンの複雑さに基づいて各層の軽い線量を制御できます。ACT 8には強力なクリーンルーム環境も備えています。空気は非常に高い程度にろ過され、制御されます。これにより、最も壊れやすい小型部品でも汚染にさらされないことが保証されます。クリーンルームはまた、フォトレジストの露出速度を制御するために重要である湿度を制御することによって助けます。TOKYO ELECTRON ACT 8には、ツール全体を制御する高度なソフトウェアも搭載されています。ソフトウェアは、パターンの広い範囲で光の露出を制御することができます。また、フォトレジストの収縮を制御するために重要な基板とマスクの温度を制御することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、非常に柔軟で正確なフォトレジスト資産です。再現性の高い高品質な部品を製造することができます。強力なモーターと高度なソフトウェアにより、高いスループットで精密部品を製造することが可能です。洗練された環境制御により、最も繊細な部品でも汚染されないようにします。このモデルは、小型部品の大量生産のために設計されています。
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