中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9352785 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体製造のフォトレジストのコーティング、アライメント、露出を目的としたフォトレジスト装置です。このシステムは、高速動作と優れた結果の再現性を兼ね備えており、ユーザーがフォトレジストの使用をカスタマイズして特定のプロセスに最適化できるように柔軟性を備えています。TEL ACT 8は、高速・高精度のエッジコントロールを基本とした2段ロボットスキャンモードに対応し、非常に高いスループットを実現しています。この合理化されたアプローチにより、大型基板では最大1000mm/秒の速度でコーティング、アライメント、露出を行うことができます。また、大型バッチプロセスでも安定した厚さと組成を実現する先進的な熱制御機を搭載し、積極的な動作ランプ用に設計されています。また、温度範囲と性能を均一にするために、マルチゾーン環境制御ツールで設計されています。この資産は、成膜およびその他のプロセスを狭い温度範囲内で動作させ、各サイクルでフォトレジスト層の正しい組成と厚さを確保することができます。ACT 8モデルはまた、汚染を低減し、露出均一性を高め、画像形成の精度を高めるのに役立つ高度な真空装置を備えています。システムはコンピュータを介して制御され、柔軟性を提供し、効率的なメンテナンスとユニットのアップグレードを確保するためにモジュール式に設計されています。東京エレクトロンアクト8は、高速動作と結果の再現性を兼ね備えた先進的なフォトレジストマシンです。このツールは、均一性と精度を確保するために、非常に狭い温度範囲内で蒸着と露出を維持するように設計されています。コンピュータ制御モデルは、メンテナンスとアップデートを容易にするようにモジュール設計されており、特定のプロセスニーズに合わせてフォトレジスト機器を最適化するための高度なユーザーのカスタマイズ性を提供します。