中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9315802 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、精密なナノメートルスケールのリソグラフィとエッチングを提供する次世代フォトレジスト機器です。TELとパートナーのTOKYO ELECTRONが設計・製造した製品ファミリーの一部です。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL ACT 8は、これまでにない精度、スピード、柔軟性を提供します。このシステムは、高性能デジタルメディアコントローラを搭載したメインリソグラフィーユニットで構成されています。リソグラフィーユニットは、ガラス、ポリイミド、酸化シリカ、その他の金属を含む幅広い材料を処理することができます。プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、イオンビームエッチングなど、高精度を必要とする重要なエッチング処理にも使用できます。機械の主要コンポーネントには、デジタルメディアコントローラ、センサー、ノズル、およびさまざまなプロセス機器が含まれています。デジタルメディアコントローラは、露光時間、焦点距離、焦点などのツールパラメータを制御する責任があります。センサーは材料の表面の地形を測定し、アセットが望ましい露出条件を維持できるようにします。ノズルは、材料表面に少量のエッチング材料またはフォトレジスト材料を放出するために使用され、所望のプロセス要件を満たしています。このモデルには、さまざまなエネルギー源とプロセスオプションも含まれています。これにより、ナノメートルレベルの精度で構造やパターンを形成することができます。パターンジェネレータ、レーザースキャンシステム、ダイレクトレーザー書き込み、電子ビームリソグラフィなど、さまざまなエネルギー源とプロセスオプションを使用しています。さらに、サンプル表面の均一な照明を提供するために、統合されたヘリウムキセノン照明ユニットも装備されています。TOKYO ELECTRON ACT 8は高度で精密なリソグラフィとエッチング機です。マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、医療機器包装、MEMS設計などのプロセスに適しています。ナノスケール構造の加工を可能にし、優れた精度、スピード、柔軟性を実現します。このツールの包括的なツールセットと信頼性の高い性能により、高精度のリソグラフィおよびエッチング用途に最適です。