中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314468 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、リソグラフィ用途に特化したフォトレジスト機器です。その主な目的は、基板上のレジストコーティングを正確に制御し、接触穴などのミクロンスケールの特徴を露出させることです。システムはいくつかのコンポーネントで構成され、それぞれが特定の目的を果たす。主なコンポーネントは次のとおりです。真空トラック：これはステンレス鋼で作られており、基板がユニット内のさまざまなステーションを通過することができます。それはまた均一な抵抗のコーティングを保障するのを助けます。ウェーハ配置機：ステッピングモーターを使用して基板をツール内の正確な位置に正確に配置します。コーティングの部屋：これは抵抗が基質に加えられ、焼かれるところです。チャンバーはまた、均一なレジストコーティングを達成するためにチャンバー内の環境条件を制御します。レジストアプリケーター：これはスピンコーティングプロセスを使用して基板にレジストを適用します。高解像度の熱画像アセット：このモデルは、接触穴などのミクロンスケールの特徴を露出させることができます。それは基質のまわりで動き、温度を正確に制御する発熱体および冷却ラインから成っています。レーザービーム露光装置：このシステムは、基板上のフォトレジスト層にパターンを露出するためにレーザービームを使用します。全体的に、TEL ACT 8フォトレジストユニットは、基板上のレジストコーティングの信頼性と正確な制御を提供し、満足のいく結果を保証するように設計されています。コンパクトな設置面積と優れた熱制御により、機械はさまざまなアプリケーションで使用できます。高解像度のイメージング機能により、ミクロンスケールの特徴を容易に露出することができます。このツールはまた、各ユーザーの特定の要件に合わせてプロセスを最適化するためのさまざまな設定をユーザーに提供します。これにより、リソグラフィ用途にとって貴重なツールとなり、高度な微細加工プロセスに不可欠です。