中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314464 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトリソグラフィの先進的な化学処理を行うフォトレジスト機器です。ケミカルビームスプリッティング技術を活用し、フォトレジストフィルムへのエッチングパターンの高精度・高精度を提供します。このシステムは主に半導体製造およびデバイス製造に使用され、ユーザーフレンドリーで効率的に設計されています。このユニットは、4ビームスキャンを使用してパターンの精度と精度を最大化し、可変角度イジェクタを使用してエッジの粗さを低減します。また、高度な電子ビームイメージング（EBI）を使用して高解像度のイメージング機能を提供しています。EBIを使用すると、画像を2。5ミクロンの解像度まで撮影できます。画像の歪みを防ぐアンチモアレ機能を搭載。頑丈で耐久性のあるガラス張りのカーボンステージ、環境に優しい不活性ガスクリーニングステーション、正確な露出のためのステンレスガイドプレートを備えています。このシリーズは、写真の上に安定したレジスト厚とCD（クリティカル寸法）を維持します。フォトレジストツールは、多くの自動制御と手動制御で完了します。自動ガスフラッシュステーション、最大150m/sの高速処理が可能な高速制御、オフラインパターン編集などの自動化機能を備えています。さらに、マニュアルコントロールは、グローバルマスク編集、調整可能な光強度、調整可能なマスクパターンサイズなど、プロセスをより正確に制御できます。TEL ACT 8は、ユーザーにも環境にも優しいように設計されています。それはほとんど維持を要求しないし、きれいで、開いた設計は安全で、快適な労働環境を保障します。この資産は、環境マネジメントシステムの品質管理モデルISO14001で認定されています。この先進的なフォトレジスト装置は、半導体製造およびデバイス製造プロセスに最適です。高精度なパターン、安定したレジスト厚さ、高品質のイメージングを提供し、環境に優しくユーザーフレンドリーなデザインを維持します。