中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312222 を販売中
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ID: 9312222
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Coater / Developer system, 8"
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
4-Cassette stages
Pick-up cassette
Coater unit:
(3) Dispense nozzles
With temperature controlled line
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) Buffer tank systems
P.R Such-back valve type: Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater unit:
(2) Dispense nozzles
With temperature controlled line
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
P.R Such-back valve type: Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
SH Nozzle
(2) SH Nozzles for DI Rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(3) Adhesion units:
Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor system
Interface
(15) Low temp hot plates
(14) Chill plates (CPL)
(3) TRS Module
TCP Module
Wafer Edge Exposure (WEE) Module
Wafer type: Notch, DUV Type
(2) Chemical cabinets:
Chemical cabinet 1: Solvent and developer
Chemical cabinet 2: HMDS and PR
(2) Temperature Control Units (TCU)
AC Power box
Missing parts:
2-1 COT Spin I/O Board
2-4 COT EBR Nozzle tip
2-4 COT EBR Nozzle valve
2-1 Nozzle changer motor
3-2 Shutter cylinder
(2) PRB YASUKAWA Spin motor drivers
2-0 PRA Z-Driver
3-0 PRA Z-Driver
Temperature and humidity controller (For 4 chu)
Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、キヤノンエレクトロニクスと共同で開発したフォトレジスト機器です。シングルビームまたはデュアルビーム深紫外線（DUV）レーザーリソグラフィーシステムの高性能機能と高度なレジスト技術を組み合わせた次世代技術です。このユニットのコア部分は、深紫外線レーザー、レジストプロセッサ、ファインアライメントステージです。ディープUVレーザーは248nmの波長でビームを放出し、印刷されたウェーハ上で非常に小さな機能を作成するのに理想的です。また、最大8つのレイヤーを同時に処理できるため、生産性が大幅に向上します。統合されたレジストプロセッサとファインアライメントステージにより、フォトリソグラフィープロセス全体を精密に制御できます。また、TEL ACT 8は生産サイクル時間を最小限に抑えるよう設計されています。TOKYO ELECTRON ACT 8には、いくつかの高度な機能が組み込まれています。シングルパスで12nmの解像度を実現し、複雑な回路パターンを作成することができます。このマシンにはダイナミックフォーカス機能も搭載されているため、露光プロセス中のずれを修正できます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、洗練されたレシピ管理ツール、直感的なユーザーインターフェース、正確な均一性コントロールを備えています。ACT 8は信頼性が高く、最大100個のウェーハの解像度を維持することができます。TOKYO ELECTRONは、極限条件下でも優れた性能を保証するために、集中的な信頼性試験を実施しています。この資産は、世界のトップクラスの半導体企業の要件を満たしており、世界中の多くの企業に採用されています。フォトレジストモデルは、エレクトロニクスから自動車部品、医療機器まで、幅広い業界で使用できます。TEL ACT 8は比類のない精度を提供し、マイクロLEDやマイクロ抵抗など、非常に細かいディテールが要求されるタスクに適しています。また、高速で効率的で信頼性が高いため、大量生産に最適です。要件に関係なく、ACT 8は最小限のダウンタイムで最高品質の結果を提供します。精度、効率、信頼性を兼ね備えているため、最高レベルのパフォーマンスを要求されるあらゆるアプリケーションに最適です。
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