中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312218 を販売中
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ID: 9312218
Coater / Developer system, 8"
System controller
(2) Chemical cabinets:
Chemical cabinet 1: HMDS, Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR
(2) SMC Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
Carrier station:
Type: Uni-cassette
4-Cassette stages, 1 pick-up
Coater unit:
(4) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater unit:
(3) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
H Nozzle
(2) Stream nozzles for D.I W rinse
2 Points for back side rinse
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(2) Adhesion units:
Closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Interface
High temperature hot plate
(14) Low temp hot plates
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling Hot Plate (CHP) process station
(3) TRS Modules
TCP Module
HCP Module
Wafer Edge Exposure (WEE) Module
Wafer type: Notch, DUV type
Missing parts:
CSB motor I/O Board 2-0 PRA θ Motor driver
CSB Add on board
3-4 Panasonic motor
3-1 Out cup cylinder
3-1 Arm 1
3-1 Arm 2
PRB2 Chemical IO board
Temperature and humidity controller ((2) Cups)
2-0 PRA X Motor driver
4-0 IRA Z Motor drive
4-0 IRA UPS
WEE Theta driver
4-0 IRA Motor IO board
4-0 IRA IFB Add on board
Hard Disk Drive (HDD)
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体装置を専門とする日本企業TELが開発した業界トップクラスのフォトレジスト機器です。最先端の技術を駆使して開発されたこのシステムは、ウェーハ処理のための最先端の自動化されたユニットをユーザーに提供します。この機械は、高精度で高精度な結果を示しています。高精度を保ちながら基板を光にさらすことで、優れたエッチング処理を実現します。このツールは光をフィルターして画像を安定させ、歪みを減らし、線幅の精度を向上させます。TEL ACT 8は高速プロセス制御により、1時間あたり300以上のウェーハ処理が可能です。また、ユーザーがプロセス状況を監視し、異常を発見し、変化するプロセスのニーズに迅速に対応できる組み込みソフトウェア資産を使用しています。このモデルには、リアルタイムデータキャプチャなどのインテリジェントな機能が搭載されており、ユーザーはプロセスデータをキャプチャしてプロセストレンドを分析し、生産をより良く管理することができます。クリーントラッククリーニングメカニズムは、ウェーハに損傷を与えることなく、クリーニングソリューションでフォトレジストを浸透させることができます。ライン幅の変化を最小限に抑え、積極的な降下の必要性を最小限に抑えることで、高品質で低コストの結果を生み出します。また、薄膜堆積物などの敏感なアプリケーションにも対応しています。さらに、テストおよびデータ分析機能を自動化し、ユーザーは問題を診断し、ダウンタイムを最小限に抑え、生産時間を解放し、効率を向上させることができます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、業界最高のフォトレジストユニットを手頃な価格で提供します。その精度と自動化は、さまざまなアプリケーションに信頼性の高い結果を提供するために一緒に来ます。その汎用性と柔軟性により、ユーザーは特定のニーズに合わせてマシンを調整し、特定のニーズを満たす最高品質のフォトレジストを生産することができます。
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