中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9311769 を販売中

この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
販売された
ID: 9311769
(2) Coater / (2) Developer system (4) Uni-cassette stations (2) Chill plate units (2) Adhesion units (9) LHP Transition unit Transition chill plate unit Type 4 ACT controller Number of resist nozzle: (3) Nozzles per COT unit: 2-1, 2-2 COT Nozzle 1: HV Pump (Iwaki HV-115-1) 2-1, 2-2 COT Nozzle 2: RRC Pump (F-T 100-3) 2-1, 2-2 COT Nozzle 3: No pump, no LE tank Developer nozzle Stream nozzle Components: (3) INR-24-264A Circulating pumps (3) INR-244-216C Circulating pump power supplies (2) INR-244-217B CPL Power supply modules Controller: INR-244-218F.
TEL (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8)は、半導体、高密度集積回路、その他の電子部品の製造に使用される先端材料の効率的で正確かつ信頼性の高い処理を可能にするために東京エレクトロンが開発した先端フォトレジスト装置です。このシステムは、リソグラフィ、紫外線露光、エッチングなど、さまざまな技術を使用しています。TEL ACT 8マシンは、利用可能な最も洗練されたフォトレジストシステムの一つです。フルオートでユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、簡単で効率的な操作とセットアップを可能にします。ユニットはまた、アクセサリーの広い範囲を含み、正確かつ一貫した結果を保証するために、さまざまな機能を提供します。高精度な制御弁、洗練されたパルス制御回路、電動サンプルホルダー、高電圧発電機、石英ランプ挿入および除去機、および帯電防止制御ユニットが含まれます。リソグラフィは、紫外線を使用して半導体ウェーハにフォトレジストコーティングを撮影するために使用されます。光強度と発生角度を操作することで、フォトレジストを正確に作成してウェーハ上の希望の形状やパターンを形成することができます。TOKYO ELECTRON ACT 8には、光の正確な制御と位置決めを可能にする高度なリソグラフィ技術が搭載されており、高精度なパターンが得られます。このツールにはフロースループロセスも組み込まれており、ウェーハからフォトレジストを迅速にエッチングできます。高速・高圧に対応し、ウェーハ表面から未使用のフォトレジストを素早くエッチングできます。このプロセス段階は、回路の正確で信頼性の高い製造に不可欠です。TEL ACT 8アセットには、紫外線露光セクションも含まれています。クオーツランプ源と超高速データ取得モデルを搭載し、ウエハーへのUV光の高速露出を可能にします。高効率なデータ収集装置は、光の出力を正確に測定して保存し、さらなる処理を行うことができます。最後に、機械には、静電気防止システムや有害な粒子への暴露から人員を保護するハウジングなど、さまざまな安全機能が装備されています。帯電防止ユニットは、フォトレジストの損傷または効率を低下させることができる静電気の可能性を低減するように設計されています。結論として、ACT 8は利用可能な最も先進的なフォトレジストシステムの1つです。リソグラフィ、紫外線露光、エッチング、安全機能を組み合わせることで、高度な集積回路を製造するための貴重なツールとなります。この機械は、半導体、高密度集積回路およびその他の電子部品の正確かつ信頼性の高い生産を保証するのに役立ちます。
まだレビューはありません