中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9300128 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL Limited （TOKYO ELECTRON）が開発した次世代フォトレジスト機器です。フォトレジストは、基板上にパターンを作成するために使用することができる電子部品や光感受性ポリマーの製造に使用される化学物質です。フォトリソグラフィからエッチングまで、さまざまな製造プロセスでフォトレジストシステムが使用されています。TEL ACT 8は、他のフォトレジストシステムとは異なるさまざまな機能を備えています。8インチウェーハを搭載した蛍光デジタルイメージング顕微鏡（FDIM）の画像・映像データを利用できる高性能レジストシステムです。これは、高い反復性と均一性でパターンを正確に形成できることを意味します。最先端の洗浄ユニットを備えており、金属イオンや有機汚染物質の効率的な除去が可能です。洗浄不良や洗浄不良による破片を低減します。マスクの成膜特性が強化され、線幅や膜厚の制御が容易になりました。これは、フォトマスクから基板へのパターン転送プロセスが正確であることを保証するのに役立ちます。また、他のフォトレジストと比較して加工特性が向上しており、高速な加工が可能です。さらに、最大プロセス時間が延長され、粒子の汚染や基板への損傷のリスクが減少します。TOKYO ELECTRON ACT 8の高度な制御機能は、より正確なパターンのずれや線幅を確保するのに役立ちます。また、ドライエッチングと化学プロセスを順次組み込むことができ、生産プロセスを簡素化し、監視と最適化を容易にすることができます。全体として、TEL ACT 8は高度なフォトレジストツールであり、処理速度の高速化、洗浄能力の向上、マスク沈着特性の強化、プロセス時間の延長などのメリットを提供します。これにより、欠陥を低減し、基板加工を改善する精度、均一性、再現性を向上させることができます。それは電子部品の生産そして製作のための実質的な利点を提供する高度の資産です。