中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9296903 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9296903
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Coater / Developer system, 8" I/F Only 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体製造に使用される先進的なフォトレジスト機器です。それは2つのタイプの技術を結合します;フォトレジストとしての絶対精密ビームスキャンとシングルメチルメタクリレート(MMA)。高度なビームスキャン技術により、システムはナノスケール精度でパターンを書くことができます。MMAを使用することで、ナノメートルスケールで機能を生成することができます。さらに、このユニットは、最大6インチのサイズの基板材料を効率的に処理します。TEL ACT 8を強力にするコア技術は、電子ビームライティングマシンです。基板にパターンを正確に伝えることができる電子ビームを使用し、2ナノメートルの解像度のパターンを可能にします。この技術は、望ましいパターンサイズにビームを形成するためにも使用され、正確なパターニングを保証します。単一のMMAフォトレジストは、気密コーティングを提供し、生産環境内の汚染を防止します。これにより、マイクロチップは外部の物質から完全に解放され、生成されたパターンの精度を損なう可能性があります。さらに、MMAは急速に発生し、室温で乾燥し、迅速なターンアラウンドを可能にします。TOKYO ELECTRON ACT 8では、露出後のベーク処理に熱支持段階を採用しています。これにより、困難な基材を効果的に処理でき、30nmの解像度を実現します。パルスダブルリングやトリップリングなどの信号処理技術を用いて、さらなる精度を提供します。ACT 8を操作するには、専用のソフトウェアを使用する必要があります。このソフトウェアは、フォトレジスト上のパターンを回転、整列、および微調整することができます。また、データストレージと分析機能をサポートしており、細かい詳細を正確に検出することができます。最終的には、希望するパターンを正確な精度で印刷できるようになります。結論として、TEL ACT 8は、ナノスケール半導体デバイスの正確なパターニング用に設計された強力なフォトレジストツールです。最先端のビームスキャン技術と単一のMMAフォトレジストの組み合わせにより、すべての基板材料のナノメートルレベルの精度が得られます。さらに、このアセットは高度なソフトウェアによって制御され、より高い精度が得られます。
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