中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294543 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、様々なウエハを精度、スピード、スケールで加工できる最先端のフォトレジスト機器です。ウェーハを偏光波の精密パターンにさらすことで機能します。このパターンは、パターニングプロセスの均一性を確保するために、正確な露出レベルを作成するユーザー定義プログラムによって決定されます。従来の2倍の速度で動作する超高速スキャン機を搭載し、処理時間を短縮します。また、複数のウェーハを一度にバッチ処理する機能も備えており、時間を節約し、スループットを向上させます。TEL ACT 8を用いたフォトレジストプロセスは、ウェーハに感光膜を適用しています。光にさらされると、フォトマスクの製造がパターニングプロセスを開始します。フォトマスクを焼いて硬化させた後、反応性イオンエッチング処理を使用してウェーハ上に所望のパターンを形成します。露出、ベーキング、エッチングの組み合わせにより、東京エレクトロンアクト8ツールは常に精度の高いパターンを作り出すことができます。このアセットにはレイヤーオーバーレイ検証モデルも搭載されており、検査官は各レイヤーの精度を視覚的に検査して測定することができます。装置はまた、高度なろ過および清浄度の戦略のために、粒子レベルを低減することができます。さらに、エッジ配置精度とステップ高さ制御を備えており、パターニングの再現性を高めています。全体的に、ACT 8フォトレジストプロセスユニットは、ウェーハのパターン化と回路基板の作成に非常に効率的で正確な方法を提供します。このマシンの高速およびバッチ処理能力とそのレベルの精度は、市場で最も利用可能なフォトレジストシステムの1つになります。