中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9294152 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9294152
Spin On Dielectric (SOD) System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 Photoresist Equipmentは画期的なイメージング技術であり、イメージングの精度と速度の面で優れた性能を提供します。これは、高分子およびフッ素材の堆積とパターン化を容易にし、高度でハイテクなデバイスの範囲を作成するように設計されています。TEL ACT 8システムは、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに精密な解像度を提供する高度なイメージングオプティクス技術を活用したリソグラフィープラットフォームです。このユニットは、フォトレジスト材料の高速スキャンを可能にする(HEBS)高エネルギービームスキャン技術を採用しています。このスキャン技術は、µm分解能パターンを生成することができます。また、東京エレクトロンアクト8は、最も要求の厳しいフッ素樹脂から伝統的な化学物質まで、幅広いリソグラフィ材料において、高品質の画像解像度を提供します。印象的なイメージング機能に加えて、ACT 8には、柔軟なパターニング用途のためのコンパクトな円筒形マスク露出機が含まれています。このマスク露出ツールには、マスクを正確に配置するための高精度の6軸モーターと、最適な光強度のための水平および垂直線形可変フィルタが含まれています。TEL ACT 8はまた、プロセス制御を簡素化するための便利なユーザーインターフェイスを提供しています。そのオンボードソフトウェアは、オペレータにフォトプロッティングプロセスのすべての側面を完全に制御し、迅速かつ効果的なトラブルシューティングを可能にします。オペレータは露光光、スキャンレート、光強度など、すべてのプロセスパラメータをリアルタイムで簡単に監視できます。ACT 8 Photoresist Assetは、高精度のディテールで複雑なリソグラフィックパターンを迅速かつ効率的に作成できる革新的なイメージング技術です。高度なイメージングオプティクスと合理化されたユーザーインターフェースにより、フォトプロッティングがこれまで以上に容易になり、高解像度のイメージング機能により、困難なリソグラフィー用途での優れたパフォーマンスが保証されます。
まだレビューはありません