中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9290883 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高解像度25ナノメートルデバイスを搭載した先進的なフォトリソグラフィに使用されるハイテクなフォトレジスト機器です。このシステムは、従来のリソグラフィ技術の高精度機能と、強力なオートメーション技術とロボット技術を組み合わせています。TEL ACT 8は、4Xポイントツーポイント（P2P）レンズを備えた先進的な光学投影ユニットを搭載し、25ナノメートル以下のデバイスで最高品質の処理精度を実現しています。この機械のマスクレスリソグラフィ機能は、業界で最も先進的なものです。TOKYO ELECTRON ACT 8にはTELレーザーパターンジェネレータ（LPG）が搭載されています。LPGは、解像度とオーバーレイ精度を向上させながら、ライン幅のばらつきを低減するように設計されています。このツールはまた、マルチフィールドステッチ、サブ解像度ステッチ（CFS）と大型ウエハ用のダイツダイステッチ（D2D）を可能にする革新的な複合機能を備えています。TOKYO ELECTRON ACT 8のスキャナは、信頼性と実績のあるTOKYO ELECTRONステッパーとマスクを組み合わせたフォトレジストにより、極めて高い精度の重要なマイクロスケール部品に最適です。ピクセルサイズが1。0ミクロンの高解像度イメージングアセットを備えているため、非常に小さな機能に対応できます。ステッパーは、ウェーハフロントエンドロボット（WFE）を使用して、汚染を最小限に抑えながら、より高速で信頼性の高いウェーハ転送を保証します。TEL ACT 8は、モデル速度とウェーハスループットを最適化するために、さまざまなオートメーション技術を採用しています。高度なフルウェーハレベルのロボットヘッド（FWR）装置は、高速ウェーハ処理を可能にし、Autostepリアルタイムマルチフィールド露出はウェーハ上の正確なフィールドを同時に提供します。リアルタイムのフィールド合成（RTFS）機能により、正確さと優れたオーバーレイ結果が保証されます。さらに、システムのセットアップ時間は5分未満で、数秒でリセットできます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRONのACT 8は、25ナノメートル以下のデバイス処理に優れた機能と機能を組み合わせた強力な高度フォトリソグラフィーツールです。最新のイメージング技術とオートメーション技術を組み合わせ、フォトマスクとウェーハ処理のための高性能ソリューションを提供します。迅速なセットアップと最小限のメンテナンス要件により、本番環境に最適です。