中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9290881 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高精度のマイクロエレクトロニクス部品を製造するために設計されたフォトレジスト機器です。半導体デバイス上のフォトレジストの薄膜作成を容易にするために設計された成膜ツールであり、これまでにない精度とディテールで回路などを開発することができます。これは「フォトリソグラフィ」と呼ばれるプロセスを使用して、光と陰で構成されたマスクをフォトレジスト被覆基板に投影することによって実現されます。マスクにさらされると、フォトレジストの露出領域が「開発」され、望ましいマイクロエレクトロニクス構造が形成されます。TEL ACT 8ユニットは、エバネッセント光学系ArF KrFリソグラフィ投影機を採用し、高精度な高解像度パターンの撮影が可能です。60nmの解像度を備えており、正確に製造できる機能の最小サイズを示しています。このツールはまた、優れた軸外傾きを持っており、様々な幾何学的形状の製造を可能にします。このアセットは、直径150mm、厚さ6mmまでの基板をサポートすることができ、幅広い基板サイズと種類に対応する柔軟性を提供します。また、高度なプロセス制御機能を備えており、最適なフィルム品質を実現するためにフォトレジストプロファイルを簡単に操作できます。この装置は、マスク特性と基板特性の両方に関するリアルタイムのフィードバックを提供し、ビームの強度と波長を素早く調整してプロセスの変動を減らし、スループットを最適化することができます。さらに、このシステムは、アプリケーション領域を拡張し、プロセス歩留まりの改善を可能にする自動プロセス最適化が可能です。ADVはまた、オプションの急速冷却システムを提供し、高度なプロセス制御をサポートします。これは完全にスケーラブルで、複数の投影モジュールを統合し、複数のデバイスを並列に生産することができます。最後に、このユニットはまた、非常に堅牢で耐久性に優れているように設計されており、多くの種類の工業生産にとって重要な信頼性の高い性能を長期間にわたって提供します。結論として、東京エレクトロンアクト8は、マイクロエレクトロニクス部品の正確で洗練された生産のために設計された最先端のフォトレジスト機械です。ArF KrFリソグラフィーツールは、最先端の解像度、高度なプロセス制御、幅広い基板の加工能力、および最大の耐久性と性能のための信頼性の高い設計を備えています。このアセットは、広範な機能を備えており、さまざまな産業用途に最適です。