中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9288585 を販売中
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ID: 9288585
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
(3) Coater / (4) Developer system, 8"
Dual block
(4) Open cassettes: CSB
Transfer arm
Controller
Touch panel
(2) Block bodies (SPIN: 3COT / 4 DEV)
RRC Pump: CSB
(3) COT Spin with 3 nozzles (2-1, 2-2: COT / 2-3 TCT)
Nozzle for DEV spin
Interface block:
WEE Unit
IFB Arm
Lamp house
Bake (1B, 2B):
(2) ADH
(8) CPL
(4) PCH
(13) LHP
(3) TRS
(4) HHP
Sub modules:
AC Power
(2) TCUs (SMC)
(2) Chemical cabinets
Cup temp / Humid (COSAM)
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、精密フォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。これはカスタマイズ可能なシステムで、ユーザーが生産プロセスを最適な可視性と制御できるようにします。このユニットは独自のフォトリソグラフィーソリューションを備えており、フォトリソグラフィープロセスに不可欠な部分です。このソリューションは、ユーザーが均一で正確な結果を作成するために、ターゲット材料の上にフォトレジストを均等に適用するのに役立ちます。機械の中心には、最高の精度と速度を提供する独自のレーザースキャナーがあります。それに調節可能な段階があり、あらゆる基質のサイズに完全に一直線に並ぶ機能があります。レーザービームは非常に狭い幅に焦点を当てているため、微細なパターンをターゲット材料に正確に書き込むことができます。このツールはまた、特許取得済みの自動サイズ調整機能を備えており、露出がターゲット形状に正確に一致するようにします。このアセットは、内蔵の複数露光モデルによってさらに強化されます。これにより、ユーザーは異なる露出設定で同じパターンを数回露出することができます。この装置は、手動パターン調整の必要性を排除し、毎回一貫した結果を保証します。このシステムには、フォトレジストを基板に固定するために設計された特許取得済みの誘電材料ラッチも含まれています。この機能により、露光プロセス中にフォトレジストが基板にしっかりと取り付けられたままになります。さらに、このユニットはプログラム可能なデジタルチルトマシンを備えており、フォトレジストが基板上に均一に分布することを保証します。このツールはまた、温度と湿度センサーの包括的なセットを備えています。これにより、ユーザーは簡単に温度と湿度を監視して調整することができ、パターンの所望の解像度と明瞭さにつながる正確な条件を達成することができます。最後に、この資産には、自己完結型のレジスト開発モデルも含まれています。この装置は、露出後に基板からフォトレジストを除去し、パターンの形成につながります。このシステムには、最適なレジスト除去結果を得るために基板に精密な圧力が印加されるようにセンサーが装備されています。全体的に、TEL ACT 8は精密フォトリソグラフィ用に設計された高度なフォトレジストユニットです。独自のフォトレジストソリューション、レーザースキャナー、複数露光機、レジスト開発ツールを組み合わせることで、最短時間で最高品質の結果を得ることができます。
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