中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285382 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、費用対効果の高い高性能表面処理を実現するフォトレジスト装置です。このシステムは、基板に適用されるフォトレジストの洗浄、ベーキング、開発のための自動化されたツールです。それはヘリウム、窒素および酸素の組合せを使用して動き、8インチまでのサイズの基質を扱うことができます。TEL ACT 8はフォトレジストアプリケーターとイメージトランスファーチャンバーの2つの主要パーツで構成されています。フォトレジストアプリケーターでは、ヘリウムが基板にフォトレジストの薄膜を適用するために使用され、窒素はベーキングチャンバーで焼く前にフォトレジストを安定させるために使用されます。これに続いて、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）によって制御される高温ベークサイクルが続きます。基板にフォトレジストを塗布して焼成した後、画像転送室に送られます。ここでは、パターンを作成するためにフォトレジストの層が光にさらされています。露出源は基板の上部に配置され、目的のパターンを提供するために制御されます。これに続いて、基板は空気、窒素、および開発者の組み合わせによって開発されます。最後に、すすぎ風呂は余分な抵抗を取り除きます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、温度、露出レベル、プロセス時間、開発者構成など、さまざまなパラメータを自動的に調整するようにプログラムすることができます。これにより、さまざまなフォトレジスト部品を異なる基板に使用することができます。さらに、高度な制御インターフェースを備えており、遠隔操作が可能で、自動生産システムに簡単に統合できます。結論として、TEL ACT 8は、精度と費用対効果の高い表面処理を提供するように設計されたフォトレジストマシンです。これは、さまざまなパラメータの調整を可能にする自動化された機能を備えているだけでなく、ツールのリモートコントロール。ACT 8は、ヘリウム、窒素、酸素、および高温ベークサイクルを使用することにより、フォトレジストの洗浄、焼成、開発を最小限の努力で達成可能にします。