中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体産業のフォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。フォトマスクからシリコンウェーハにパターンを転送する抵抗開発プロセスを使用したウェハステッピングシステムです。フォトマスクを介してフォトレジストコーティングされたウェーハを照射し、ウェーハ上に画像を作成して動作します。画像はウェーハから抵抗性開発層に転送され、フォトレジスト層でパターンを形成するために使用されます。このマシンは、熱絶縁エンクロージャに収容され、2つの暖房システム、温度制御されたウェーハ冷却ツール、およびカスタマイズされたモータ制御アセットが装備されています。高解像度8インチのKoehler高解像度オートフォーカスモデルを採用し、半導体ウェーハを正確にパターン化します。この装置は、直径8インチまでのシリコンウェーハと最大4ミクロンの画像解像度を処理することができます。TEL ACT 8は、解像度の向上、自動露出レベル、さまざまな画像ソースなど、幅広い動作モードを利用して、最適な結果を得るための微調整を可能にします。また、多種多様な化学材料、コーティングプロセス、保護マスクにも対応しています。TOKYO ELECTRON ACT 8は直感的で使いやすいソフトウェアソリューションで制御されています。システムはまた、ユニット操作を容易にし、結果を改善するためのグラフィカルツールとインタラクティブ機能の配列を提供しています。それは速い組み立ておよび操作のために設計され、手動モードおよび自動モードで動くことができる。ACT 8には、露出マップ、レイヤーバイレイヤーマッピング、自動レイヤー配置など、さまざまなトラッキングオプションもあります。これは、高速フォトレジストの開発を最小限に抑え、自動バッファリングで設計されています。オートローダーにより、ウェーハの迅速な積み下ろしも可能です。TOKYO ELECTRON ACT 8は、高速ウェーハ加工用に設計されたパワフルで汎用性の高いフォトリソグラフィーマシンです。半導体業界における高度なリソグラフィ要件に最適なソリューションです。