中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9281476 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトリソグラフィとダイレクトイメージングプロセスの両方でエレクトロニクス業界で広く使用されているフォトレジスト機器です。このシステムは、多種多様な基板を処理する能力をユーザーに提供する、完全に自動化されたプログラム可能なユニットです。TEL ACT 8は真空加工室、パターン認識ステーション、プロセス制御センターで構成されています。真空加工チャンバーは、基板ホルダーに接続されているカソードとアノードの2つの部品で構成されています。真空加工チャンバーは、フォトリソグラフィープロセスに一貫した正確なチャンバー環境を提供するように設計されています。機械は化学的に抵抗力があるアルミニウム部屋はさみ金と環境にあるかもしれない他の化学薬品からの酸化か汚染から基質を保護するように設計されています。パターン認識ステーションは、ツールにロードされたプログラムされたCADファイルで動作します。CAD設計に基づいて、アセットはフォトリソグラフィープロセス中に使用されるパターンライブラリを生成します。パターン認識ソフトウェアは、マスターパターンへの微細な変化を検出するためにも使用でき、元のパターンと最終製品の間で調整することができます。プロセス制御センターは、ケミカルバス制御と基板移動制御の手段をユーザーに提供します。このコントロールセンターを使用すると、目的の化学エッチングまたは蒸着プロセスに従って化学濃度と温度を微調整できます。これにより、ユーザーはチャンバー内から製造する基板の正確な物理的特性を制御することができます。ガラス、シリコン、シリカ、石英などの基板加工が可能です。この装置は非常に正確であり、他の機械が再現できない非常に精密な蒸着プロセスを可能にします。このシステムはユーザーフレンドリーに設計されており、プロフェッショナルユーザーとカジュアルユーザーの両方がさまざまな基板のプロセス設定を素早く簡単に調整できます。結論として、東京エレクトロンアクト8は、エレクトロニクス業界におけるフォトリソグラフィおよびダイレクトイメージングプロセスで使用するために設計された先進的でハイテクフォトレジストユニットです。この機械は、さまざまな基板を処理する信頼性の高い精密な環境を提供し、最終製品の正確な物理特性を優れた制御を提供します。このツールは、高精度と一貫性を提供し、ユーザーフレンドリーであるため、エレクトロニクス業界の人々にとって理想的な資産となります。
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