中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9279593 を販売中
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ID: 9279593
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
R Type
In-line
Block: 2
Hard Disk Drive (HDD)
Loader
Main controller type: Type #3
Coater:
(3) Nozzles
RRC Pump
(2) Buffer tanks: 3 L
Side rinse (EBR)
(2) Back side rinses
Developer:
H Nozzle type
(2) Buffer tanks: 3 L
(2) Rinse nozzles
(2) Back side rinses
(2) Adhesion process stations (ADH )
(12) Low temperature Hot Plate stations (LHP)
(2) High Temperature Hot Plate Process Station (HHP)
(8) Chiller Plate Place (CPL)
(4) Transition Stage (TRS)
(4) Chilling Hot Plate (CHP)
(2) Cup Washer Holder (CWH)
(2) Shuttle Module (SHU)
IFM
EIS Type: ASML
WEE
AC Power box
Chemical box
Temperature controller
T and H
MFC.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高度なウエハレベルのプロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な自動化機能と手動ユーザーコントロールを組み合わせることで、高いレベルの柔軟性、正確性、効率性を提供します。TEL ACT 8は、ブロードキャストスプレーヤー、フォトレジストコーター、モジュール、および複数のタレットシステムを含む複数の統合コンポーネントで構成されています。フォトレジストを微調整するために使用されるスプレーヤーは、ステップバイステップのプロセスに従って動作します。まずフォトレジストをプリミックスし、制御可能なバースト圧力とスプレー速度を使用してウェーハ全体に均等にスプレーします。そこから、コーターは設定されたスプレー幅と回転数を使用して均一な膜厚を維持します。これは、高解像度処理の重要なステップです。TOKYO ELECTRON ACT 8モジュールは、プログラムされた露出サイクルが始まる前に、ツールのビームを加熱、整列、集中させるために使用されます。熱および耐薬品性はモジュールの高出力の光学バットを使用して微調整することができ、安定した均一な処理温度を維持するのにも役立ちます。さらに正確さと効率性を確保するために、タレットシステムはカメラとプロジェクターのシームレスな統合のために設計されています。リトラクタブルタレットアームは、高速かつ費用対効果の高いモジュール交換を容易にし、高速オートフォーカスユニットは、フォトレジスト材料の範囲にわたってカメラとプロジェクターの精密なアライメントを容易にします。全体として、ACT 8は、高度な精度と効率のために設計された革新的なフォトレジストソリューションをユーザーに提供します。このマシンは、高度なオートメーション機能とユーザー指定のコントロールを組み合わせており、最大限の柔軟性と信頼性を実現します。TOKYO ELECTRON ACT 8ツールは、フォトレジストのプロセスを合理化し、オーバーヘッドコストを削減し、潜在的な投資収益率を高めます。
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