中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9269550 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、最適なフィルム形成とパターニング性能を実現するフォトレジスト装置です。先進的な研究開発と量産型半導体デバイス製造に特化して開発された高度なフォトリソグラフィックシステムです。薄膜と厚膜を多種多様なフィルム材料で製造することが可能な、フィルム材料の成膜プロセスの向上を特徴としています。これらのフィルムは、機械の高度なイメージングツールで迅速かつ効率的にパターン化できます。アセットは高精度で、VLSI回路や高速接点などの構造物を正確にパターン化できます。TEL ACT 8は、500ミクロン解像度のステッパー型イメージングモデルを搭載しています。超高解像度のオートフォーカスとファインアライメント機能を備えており、正と負のフォトレジストの両方に対応できます。高度なフォトリソグラフィ装置には、強力な空間光変調器（SLM）とレーザーアライメント装置があり、複雑なパターンに適しています。また、高速かつ正確なプリントヘッドによる高速パターン生成プロセスも提供します。パターンサイズ、形状、アスペクト比も独自ソフトウェアで簡単に調整できます。このシステムは、熱的および電気化学的に成長した材料を含むさまざまなフィルムの湿式および乾式処理に役立ちます。このユニットには、蒸着および処理を制御するための真空および温度システムも装備されています。この技術の組み合わせは、精密なリソグラフィーマスクと正確なパターン作成のための最高レベルの精度を提供します。TOKYO ELECTRON ACT 8は、高性能な生産・研究施設のニーズに応えるために設計された、強力で信頼性の高いフォトリソグラフィックマシンです。その汎用性と精度により、正確なリソグラフィ作業に最適なツールであり、すべての半導体デバイス製造要件において信頼性の高い結果を得ることができます。