中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、優れた精度と再現性を提供する完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは、高解像度のイメージングオプティクス、精密なモーションコントロール、高度なソフトウェアアルゴリズムを使用して、化学的に増幅されたレジスト処理の一貫性を保証します。TEL ACT 8の光学系は、フォトリソグラフィーイメージングに必要な精度と解像度を提供します。光学ユニットには、高出力の水銀アークランプ、光学コンデンサー、照明装置、ウェーハ上に撮影するための光学マスク付きプロジェクションツール、およびフォーカスを検出、測定、制御することができるレジオゲン駆動フォーカス機構を備えたプロセッサユニットが含まれています。光学は最高の正確さのための3Dイメージを取るように形成されます。TOKYO ELECTRON ACT 8のシャーシには、高精度ロボットアームの動きを駆動し、機械の正確な位置決めとウェーハの露出を行う船外モータ制御アセットが搭載されています。このモデルには、イメージングおよび加工ステップ中のマスクの適切な引張を保証する引張装置も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8のソフトウェアは、処理されるウエハの任意の部分に均一な成膜と露出パラメータを提供するように設計されています。このソフトウェアには、複数のプロセスパラメータ監視機能と、一貫したパフォーマンスを維持するためのパラメータの調整を可能にする診断およびフィードバックメカニズムも含まれています。ACT 8フォトレジスト装置は、市場で入手可能な最も正確で信頼性の高いシステムです。半導体やマイクロシステムの製造、その他のフォトレジスト関連プロセスに適しています。このユニットによって提供される精度と再現性は、非常に正確な画像転送と最高品質のデバイス製造を可能にします。