中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9253993 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、集積回路や半導体の製造におけるリソグラフィ工程用に設計されたフォトレジスト装置です。ウェーハ上にパターンを作成して電気回路を生成するために使用されます。このシステムは、酸触媒による熱酸化（ACT）に基づいており、幅広い寸法のウエハをパターン化することができます。TEL ACT 8ユニットは、0。2ミクロンまでのサブミクロン特性を実現する高解像度イメージングマシンです。光源拡大技術を活用し、パターニングプロセスの精度と解像度を向上させます。TOKYO ELECTRON ACT 8では、複層処理を利用して複雑なパターンを作成しています。複数のレジスト層が順番に適用され、細かく垂直に分離されたレジスト層が作成されます。このツールは、優れたパターンファクチュールを提供するように設計されており、結果として製品の高収量が得られます。ADVACT 5マスクアライナーは、生産スケールリソグラフィの高速およびスループット要件を満たすように設計されています。乾燥基板または湿式基板で動作するため、高精度なフォトイメージングプロセスが可能です。また、ウエハハンドリング資産の自動化とUV防止機構を備えており、パターンイメージングの欠陥を軽減します。このモデルには、照明源の範囲をサポートするマルチソースランプベースも含まれています。ランプベースは、ハイコントラストと高解像度の両方を提供するように設計されており、一貫して高品質の画像を保証します。要するに、TEL ACT 8は、半導体および集積回路製造のための高品質の画像とパターン処理を提供する先進的なフォトレジスト機器です。多層処理、高解像度イメージングシステム、自動ウェーハハンドリング、マルチソースランプベースを備えています。このシステムは、スループットを向上させ、パターンイメージングの歩留まりを向上させるように設計されています。