中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251356 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL （TOKYO ELECTRON）が開発した、電子機器加工用のフォトレジスト機器です。ゲート電極、インターコネクションパターン、コンタクトプラグ形成などの機器の大規模化や細線リソグラフィに適しています。システムは、光源、露出チャンバー、露出制御ユニットで構成されています。光源は、深い紫外線の範囲で安定した照明を提供する高出力の超紫色エキシマレーザーです。パターンの正確な印刷を保証するために、均一な線幅と高さで最適化された露出プロファイルを提供することができます。また、露出チャンバーには高精度の光学機器が搭載されており、一貫性のあるパターニングが可能です。コンデンサーと投影レンズの2つのレンズの組み合わせは、フォトレジストに光の高い照度を集中させます。露出制御ツールは完全に自動化されたプロセスであり、パターンの線量と小型化を正確に制御できます。これにより、手動操作よりも高品質のパターン形成と優れたパフォーマンスが保証されます。ユーザーフレンドリーなGUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）とプログラム可能な露出パラメータ管理と統合されています。この機能により、バッチ処理が可能になり、露出時間とコストがさらに削減されます。全体的に、TEL ACT 8は信頼性が高く、簡単にフォトレジストアセットを操作できます。その特徴と性能は、高精度のパターン形成と欠陥の最小化を可能にします。半導体デバイス製造、薄膜デバイス加工、プリント基板製造など、さまざまな用途にご利用いただけます。