中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251354 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9251354
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Coater / Developer systems, 8" 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL Limited (TOKYO ELECTRON)が開発した先進的なフォトレジスト機器です。高精度で複雑なデザインを作成するのに最適な高性能パターニングシステムです。このユニットは、集積回路の複雑な設計を製造するためのマイクロエレクトロニクスおよび半導体業界で広く使用されています。TEL ACT 8はレーザーと呼ばれる集光光源を使用した高精度光学機械を使用しています。このレーザーは光の適用によって変えることができるフォトレジストと呼ばれる感光材料を露出するのに使用されます。感光性レジストは、まずシリコンウェーハや回路基板などの基板に薄い層で適用されます。レーザーはフォトレジストのこの層に集中し、光源からのエネルギーはフォトレジストの状態を変える化学反応を引き起こします。これにより、使用するレーザー光の波長に応じてフォトレジストを硬化または軟化させることができ、特定の形状にパターン化することができます。露出プロセスが完了すると、開発やエッチングなどの後処理ステップを使用して、残りのフォトレジストを基板から取り除くことができます。これは、集積回路や他の電子デバイスの一部として使用することができる電気接点のパターンを残します。TOKYO ELECTRON ACT 8は、その高精度と信頼性により、他のフォトレジストシステムに比べていくつかの利点を提供します。このツールは完全に自動化されているため、オペレータの介入を最小限に抑えて再現可能な結果を保証します。さらに、この資産は、フォトレジスト材料の全範囲との優れた互換性を提供し、プロセス手順の面で最大限の柔軟性を可能にします。ACT 8で使用される高度な光学モデルは、基板上に非常に小さな特徴を正確にパターン化して複雑なデザインを作成することもできます。これにより、デバイスの小型化と高度なパターニングアプリケーションに最適です。結論として、ACT 8フォトレジスト装置は、マイクロエレクトロニクスおよび半導体設備にとって理想的な選択肢です。優れた精度、幅広いフォトレジスト材料との互換性、効率的かつ再現性の高い結果を得るための自動化された操作を提供します。
まだレビューはありません